[發明專利]除電裝置

無效

• 申請號: 201010167126.X
• 申請日: 2010-04-21
• 公開（公告）號: CN101873760A
• 公開（公告）日: 2010-10-27
• 發明（設計）人: 津森友則;杉田直記
• 申請（專利權）人: 綠安全股份有限公司
• 主分類號: H05F3/04
• 分類號: H05F3/04;H01T23/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜

技術領域

本發明涉及除電裝置，尤其涉及對帶電物體照射正負的離子以便在電性上成為中性的除電裝置。

背景技術

在半導體或移動電話等的生產線中，為了防止部件帶電引起的靜電故障，在工作臺或輸送帶等的附近設置除電裝置。該種除電裝置通過對帶點物體照射正負平衡的空氣離子，使該物體在電性上成為中性，但是當放電針被污染或腐蝕時，正離子或負離子過剩，相反會存在使除電對象物帶電的問題。

關于這一點，作為關聯技術，已知有以下一種離子生成裝置，其在與放電針相鄰設置的相向電極和接地之間設置由可變電阻和二極管構成的并聯電路，通過人工調整該可變電阻，可以調整離開相向電極的正負離子的平衡(專利文獻1)。

【專利文獻1】特開平8-255669號公報

但是，離子平衡偏離的原因不僅是放電針的污染或腐蝕。即使放電針沒有被污染或腐蝕，例如在混入了低VOC氣體的干擾氛圍下使用除電裝置時，已查明有時會產生過多的正離子，離子平衡崩潰。在此，VOC(Volatile?organiccompounds)是指在常溫常壓下在大氣中容易揮發的有機化合物的總稱，包含甲苯、苯、二氯甲烷等在工廠等處經常使用的清洗劑或溶劑等。因此，通過人工調整離子平衡的上述關聯技術的方式，無法針對這樣的放電氛圍的變動自動地進行應對。

發明內容

本發明是鑒于上述關聯技術的課題而做出的，其目的在于：提供即使放電氛圍變動，也可以通過簡單的結構自動地保持均等的離子平衡的除電裝置。

為了達成上述目的，本發明的一方面提供一種除電裝置，其具備：放電電極，其具有對應對自身施加的直流高電壓的極性，生成正或負的離子的按n個為一組被分為兩組的2n個放電針，其中n為自然數；高電壓產生電路，其在每個一定期間使極性反轉地對所述各組的放電針，施加相互逆極性的直流高電壓；以及相向電極，其遮擋放出由所述放電電極產生的所述離子的所述放電電極的前方空間，所述高電壓產生電路的兩個高電壓輸出端子分別與所述各組的放電針連接，所述兩個高壓側輸出端子的高壓側公共端子在非接地的狀態下與所述相向電極連接。

根據上述方面，高電壓產生電路的高壓側公共端子在非接地的狀態下與相向電極連接，所以相向電極的電位對應放電氛圍的變動適當地變化。即，在不包含另外的氣體的通常氛圍下使用本裝置時，通過在放電空間中產生正負等量的離子，將相向電極的電位保持為0V。此時，離開相向電極的離子也取得正負平衡，可以高效能地對除電對象物進行除電。

另一方面，例如在由于混入了特定的氣體在放電空間中產生了較多的正離子時，在該放電空間中凈(平均)的正電荷增加，通過該正電荷，相向電極的電位被感應至負側。由于該負電位，在更多的正離子被相向電極捕捉的同時，因為負離子相斥，更多的通過相向電極。結果，抑制離開相向電極的正離子的增加，并且，負離子的通過增加，如此大體均等地保持了離開相向電極的正離子和負離子的平衡。

相反，在由于混入了特定的氣體在放電空間中產生了較多的負離子時，在該放電空間中凈(平均)的負電荷增加，通過該負電荷將相向電極的電位被感應至正側。由于該正電位，在更多的負離子被相向電極捕捉的同時，因為正離子相斥，更多的通過相向電極。結果，抑制離開相向電極的負離子的增加，并且，正離子的通過增加，如此大體均等地保持了離開相向電極的正離子和負離子的平衡。

如此，根據上述的一方面，即使在各種放電氛圍下，使用該除電裝置，因為通過簡單的結構自動地保持均等的離子平衡，所以可以始終促進除電對象物中的電位的中和，可以減小除電對象物表面的殘留電位。

此外，所述除電裝置還可以具備：串聯接在所述高電壓生成電路的高壓側公共端子和接地之間的第一電容器以及第二電容器；以及檢測所述第二電容器的端子電壓的高電壓異常檢測電路。

根據所述結構，高電壓異常檢測電路通過檢測第二電容器的端子電壓來檢測高壓電路的異常。此時，在正常地進行了高電壓電路的放電時，因為在放電空間中同時施加正極性和負極性的高電壓，所以相向電極(即，高電壓側公共端子)的電位保持大體恒定(例如0V)。但是，在某一組的放電針由于絕緣不良而接地時，因為放電空間僅由另一組的放電針驅動，所以在相向電極(即，第二電容器的端子之間)出現比較顯著的振幅的交變電壓。在本發明中，通過監視第二電容器的端子電壓，可以確切地檢測高壓電路。此外，在本發明中，觀測第二電容器的端子電壓(即，連接監視電路)，為了將高壓側公共端子維持在浮動狀態，串聯連接了第一電容器。