[發明專利]內嵌RFID的IC封裝托盤、制造機臺以及電子元件制造方法

有效

• 申請號: 201010166167.7
• 申請日: 2010-04-19
• 公開（公告）號: CN101990393A
• 公開（公告）日: 2011-03-23
• 發明（設計）人: 李睿中;柯俊銘;王藍本
• 申請（專利權）人: 旺宏電子股份有限公司
• 主分類號: H05K13/02
• 分類號: H05K13/02;H05K13/08
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 湯保平

技術領域

本發明是有關于一種在電子元件制造期間所使用的托盤，且特別是有關于一種使用該托盤的系統和方法，確保托盤可以重復使用。

背景技術

在一些像是半導體集成電路元件等的電子元件制造中，這些元件會被放置在一些托盤中，而這些托盤可以收納和保護這些元件免于受到不同程序、工藝、測試和組裝機臺操作時所產生的損害。另外，這些托盤也可以固定電子元件的方向，以確保這些電子元件在進行測試或要被安裝在印刷電路板期間，可以在適當的位置上并且被排列整齊。一般來說，完成一個電子成品，不同工藝是分散在各個位置進行，因此就需要托盤來裝運這些電子元件。

當制造電子元件時，包括像是烘烤的高溫工藝，托盤也會經過相同的環境。為了降低制造成本，一般而言，托盤在工藝期間會被重復使相當多次。然而，由于托盤不斷地暴露在工藝中，就會導致托盤材料品質的問題，進而影響到承載在其中的電子元件的品質，這也限制了托盤可安全使用的次數。

這些品質的問題包括物理損害/變化，像是托盤的收縮、翹曲或是斷裂，這是由于高溫工藝所造成的熱應力所引起。而這些托盤的物理損壞/變化，也會引起承載在其中的電子元件的損壞，像是封裝的崩裂和/或導腳損壞，而造成損失。老舊托盤不斷地在高溫下暴露和/或使用，也會造成托盤材料的崩裂，除了造成電子元件的受損，同樣也會造成生產效率的損失。

因此，在許多制造的階段期間若是需要重復使用托盤，一般都需要花費大量的時間和成本，來清潔、檢查和量測托盤的品質完整性。

另外，在電子元件，像是集成電路元件的工藝中，一般都包括了許多的制造設備并分散在各處的位置。而要實現一工藝追蹤系統來追蹤托盤在此分散排列的制造設備中的使用，是非常困難且昂貴的。

因此，以下的敘述提供一種托盤，可以使用在電子元件的工藝期間，以及該托盤的使用機臺和方法，其允許托盤可以重復使用大量的次數，以解決托盤的檢查相關的時間和成本，并且也可以解決托盤因過度使用而造成的損失問題。

發明內容

在此描述一種托盤，包括一固定架，其具有多個卡槽，可以在工藝期間固定如集成電路的多個電子元件。托盤還包括一裝置，可以耦接至固定架，用以追蹤托盤送入或送出工藝室，而這些工藝室是用來對放置在托盤上的電子元件進行特殊的工藝。在此也描述使用此托盤的機臺和方法。

上述的裝置例如是射頻辨識(RFIC)裝置，包括天線、電路、處理器和存儲器。電路用以傳送和接收信號。存儲器則儲存計數值，其用來指示固定架送入或送出工藝室的次數。另外，存儲器也儲存處理器可執行的多個指令(Instructions)，而這些指令包括：響應對于計數值的要求而傳送含有計數值的信號，以及響應累加計數值的命令(Command)而累加儲存在存儲器中的計數值的指令。

在檢測或量測程序中，無法找到一些由托盤材料老化所引起的問題。由將計數值儲存在托盤的裝置的存儲器中，可以提供托盤使用的精確且便利的量測，以在這些工藝室的過程中用來判斷何時需要停用托盤。

存在裝置上的計數值，可以改善追蹤托盤的使用的精確度和便利性。只要詢問接合在托盤上的裝置，就可以快速并且適切地判斷是否決定將托盤使用在后續的工藝，因此本發明在大量控制檢測上，或在多個分散配置的工藝設備中追蹤托盤的使用上。

相較于儲存大量數據文件來指示托盤的詳細使用狀況，儲存計數值有很多優點。例如，以使用計數值來追蹤托盤的使用，來代替必須讀取和更新儲存在裝置或遠程數據庫中大筆的數據結構，只有相當小量的數據被儲存、修改和傳輸。

在一些實施例中，裝置上還可以儲存托盤的制造日期。由于托盤不斷地暴露所導致品質完整性的問題，會隨著托盤材料的老化而更加惡化，因此在這些實施例中，制造日期也可以用來判斷托盤何時需要停用。在一些實施例中，所使用的預設日期可由儲存在裝置上的計數值而決定，和/或所使用的預設使用數可由在裝置上所儲存的制造日期而決定。另外，預設使用數和預設日期可以彼此獨立。

在此更描述一種制造機臺，用于多個電子元件的工藝中，該工藝包括將托盤送入或送出工藝室。制造機臺內包括讀取器，讀取儲存在托盤的裝置的存儲器中的計數值，并判斷該計數值是否大于預設使用數。制造機臺還包括工藝室，對放置在托盤上的電子元件進行特殊工藝。制造機臺還包括寫入器，傳送命令信號，以在托盤繼續到后續機臺之前，累加儲存在裝置的存儲器中的計數值。