[發明專利]二維平面氣浮導軌零重力吊架

有效

• 申請號: 201010166032.0
• 申請日: 2010-05-07
• 公開（公告）號: CN101813131A
• 公開（公告）日: 2010-08-25
• 發明（設計）人: 單曉杭;孫建輝
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: F16C32/06
• 分類號: F16C32/06
• 代理公司: 杭州天正專利事務所有限公司 33201
• 代理人: 王兵;王利強

1.一種二維平面氣浮導軌零重力吊架，其特征在于：所述零重力吊架 包括兩根長距離氣浮直線導軌、Y軸氣浮軸、Y軸氣浮套和懸掛繩， 所述長距離氣浮直線導軌包括X軸氣浮軸、X軸氣浮套和用以提供長 距離運動的支撐與導向的長距離直線導軌，所述X軸氣浮套套裝在所 述X軸氣浮軸上，所述X軸氣浮套至少有兩個，所述X軸氣浮套均 與貯氣套密封連接，所述長距離直線導軌上可滑動地安裝滑塊，所述 滑塊與驅動機構傳動連接，所述滑塊與所述X軸氣浮軸固定連接，所 述貯氣套與X軸氣浮軸之間為貯氣腔，所述X軸氣浮軸的軸心開有進 氣通道，所述進氣通道連接壓縮氣體進氣管，所述進氣通道與所述貯 氣腔連通，所述貯氣腔設有出氣口，所述出氣口通過連接氣管與各個 X軸氣浮套的進氣口連通；

兩根長距離氣浮直線導軌的貯氣套均與Y軸連接座固定連接，兩 個Y軸連接座分別套裝在所述Y軸氣浮軸的兩端，所述Y軸氣浮套 套裝在所述Y軸氣浮軸上，所述Y軸氣浮套與懸掛繩連接，運動件吊 裝在所述懸掛繩上。

2.如權利要求1所述的二維平面氣浮導軌零重力吊架，其特征在于： 所述長距離直線導軌的截面呈圓形，所述長距離直線導軌有兩根，兩 根長距離直線導軌平行地套裝在所述滑塊的兩個安裝孔內。

3.如權利要求1所述的二維平面氣浮導軌零重力吊架，其特征在于： 所述長距離直線導軌的截面呈非圓截面。

4.如權利要求1～3之一所述的二維平面氣浮導軌零重力吊架，其特 征在于：所述的Y軸氣浮軸的截面呈非圓截面。

5.如權利要求1～3之一所述的二維平面氣浮導軌零重力吊架，其特 征在于：所述X軸氣浮軸的兩端分別套裝X軸氣浮軸安裝座，所述X 軸氣浮軸安裝座與所述滑塊固定連接。

6.如權利要求5所述的二維平面氣浮導軌零重力吊架，其特征在于： 所述長距離氣浮直線導軌還包括用以判斷貯氣套偏離X軸氣浮軸中間 位置是否達到設定值的位置傳感器，所述位置傳感器安裝在X軸氣浮 軸安裝座與兩個X軸氣浮套之間。

7.如權利要求6所述的二維平面氣浮導軌零重力吊架，其特征在于： 所述位置傳感器為霍爾傳感器和永磁鐵，所述霍爾傳感器安裝在所述 X軸氣浮軸安裝座上，所述永磁鐵安裝在兩個X軸氣浮套靠近X軸氣 浮軸安裝座的外側。

8.如權利要求1～3之一所述的二維平面氣浮導軌零重力吊架，其特 征在于：所述X軸氣浮套與貯氣套之間通過O型圈對貯氣套密封。