[發明專利]基于雙碳納米管微氣泡發生器的噴印頭及其制備方法

有效

• 申請號: 201010160465.5
• 申請日: 2010-04-30
• 公開（公告）號: CN101817256A
• 公開（公告）日: 2010-09-01
• 發明（設計）人: 周文利;孫偉鈞;李宇鵬
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: B41J2/14
• 分類號: B41J2/14;B41J2/16
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 曹葆青

1.?一種基于雙碳納米管微氣泡發生器的噴印頭的制備方法，所述噴印頭包括襯底（1）、蓋板（2）、毛細通道（6）、主通道（7）和至少一個噴印單元；噴印單元由微腔室（3），第一、第二碳納米管微氣泡發生器（4、5）和噴嘴（8）組成；?

微腔室（3）和主通道（7）均位于襯底（1）的上部，微腔室（3）與主通道（7）之間通過毛細通道（6）連接，蓋板（2）的底部上設置有第一、第二碳納米管微氣泡發生器（4、5）；

蓋板（2）和襯底（1）封裝為一體，且第一、第二碳納米管微氣泡發生器（4、5）位于微腔室的頂部，噴嘴（8）的上部位于微腔室的底部，噴嘴（8）的下部穿透襯底（1），且噴嘴（8）的中心與第一、第二碳納米管微氣泡發生器（4、5）的間隙相對；

當噴印單元的數量多于一個時，各噴印單元成陣列布置；

其特征在于，所述制備方法包括下述步驟：

第1步，在蓋板上制備第一、第二碳納米管微氣泡發生器，在襯底上制備微流體結構，微流體結構由所述微腔室、毛細通道、主通道和噴嘴構成；

第2步：按照下述過程將蓋板和襯底鍵合：

(2.1）在制備有第一、第二碳納米管微氣泡發生器的蓋板表面涂紫外膠；

(2.2）將蓋板固定在干凈透明的玻璃板上，作為光刻機對準的掩膜版；

(2.3）將蓋板和帶微流體結構的襯底間的圖形對準；

(2.4）對準后紫外燈曝光3~5分鐘；?

(2.5）從玻璃板上取下已鍵合的蓋板和襯底。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，第1步中，在蓋板上制備第一、第二碳納米管微氣泡發生器的過程為：

（A1）采用電子束蒸發或濺射，在清洗后的蓋板上依次形成厚度為10～30nm的鈦膜和厚度為300～400nm金膜；再利用現有剝離工藝形成二個金電極，二個金電極之間的距離為1～10μm；

(A2）在上述金電極上加載交流電壓，再將碳納米管懸浮液滴到電極間，碳納米管懸浮液由直徑為10～30nm碳納米管與無水乙醇溶劑按0.005～0.05mg/ml比例混合而成；當碳納米管將電極連通并定位在電極間時，撤除所加交流電壓；

(A3）在碳納米管與金電極的接觸部位形成厚度為100～300nm的二氧化硅層，形成第一、第二碳納米管微氣泡發生器。