[發明專利]一種制作太陽能電池正面柵線電極的方法無效
| 申請號： | 201010144115.X | 申請日： | 2010-04-02 |
| 公開（公告）號： | CN101807628A | 公開（公告）日： | 2010-08-18 |
| 發明（設計）人： | 萬青;鄭策;方旭昶 | 申請（專利權）人： | 日強光伏科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 溫州甌越專利代理有限公司 33211 | 代理人： | 李友福 |
| 地址： | 325000 浙江省溫*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 制作 太陽能電池 正面 電極 方法 | ||
1.一種制作太陽能電池正面柵線電極的方法，其特征是：依次 采用如下步驟：
(1)、將具有適宜寬高比的矩形齒壓模作用于涂有聚合物薄膜的 太陽能電池正面，以形成與壓模相對應的矩形齒圖案；
(2)、移開壓模，采用化學腐蝕方法除去凹槽處的聚合物薄膜、 減反射涂層，其中化學腐蝕方法為：使用稀釋的丙酮腐蝕掉凹槽處殘 留的塑料薄膜層，再使用氫氟酸溶液去除減反射涂層，露出硅電池正 面；
(3)、進行金屬化學鍍或/和電鍍工藝完成柵線電極的初步制作， 然后使用丙酮進行二次清洗腐蝕掉剩余的塑料薄膜；最后清洗、退火 處理完成太陽能電池正面柵線電極的制作。
2.根據權利要求1所述的制作太陽能電池正面柵線電極的方 法，其特征是：在步驟一中先將具有適宜寬高比的矩形齒壓模上鍍一 層金剛石碳膜。
3.根據權利要求1所述的制作太陽能電池正面柵線電極的方 法，其特征是：步驟三的方法為：采用化學鍍在凹槽處沉積一層鎳種 子層，然后光化學鍍生長一層銀柵，經燒結工藝形成太陽能電池正面 柵線電極。
4.根據權利要求1所述的制作太陽能電池正面柵線電極的方 法，其特征是：步驟三的方法為：采用化學鍍在凹槽處沉積一層鎳種 子層，然后將電源的負極連接主柵線的一端并放入硫酸銅電解溶液槽 進行電鍍，電源的正極為金屬銅，在鎳種子層表面形成銅柵，經燒結 工藝形成太陽能電池正面柵線電極。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
