[發(fā)明專利]質(zhì)量流量計(jì)及控制器以及質(zhì)量流量計(jì)及控制器系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010135177.4
• 申請(qǐng)日: 2010-03-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101839737A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-09-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鹿島利弘;米田豊;磯部泰弘
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社堀場(chǎng)STEC
• 主分類號(hào): G01F1/76
• 分類號(hào): G01F1/76;G05B19/02
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

1.一種質(zhì)量流量計(jì)，其包括：

傳感器部，對(duì)流路中流動(dòng)的試樣流體的流量進(jìn)行偵測(cè)；

設(shè)定部，設(shè)定所指定的試樣流體所固有的流量特性函數(shù)和儀器誤差修正參數(shù)，所述流量特性函數(shù)是按照每一流體所確定的、用以根據(jù)來(lái)自所述傳感器部的輸出值確定流量的流量特性函數(shù)，所述儀器誤差修正參數(shù)是獨(dú)立于所述流量特性函數(shù)且為多個(gè)試樣流體所共用的參數(shù)，用以對(duì)每一質(zhì)量流量計(jì)的儀器誤差進(jìn)行修正；以及

流量計(jì)算部，根據(jù)所述流量特性函數(shù)和所述儀器誤差修正參數(shù)，來(lái)計(jì)算出所述試樣流體的流量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量計(jì)，其特征在于：

所述流量特性函數(shù)是由五次多項(xiàng)式所表示的函數(shù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的質(zhì)量流量計(jì)，其特征在于：

所述儀器誤差修正參數(shù)是用以消除如下兩個(gè)流量值的誤差的系數(shù)，即在以滿標(biāo)度流量測(cè)定作為試樣流體的基準(zhǔn)流體時(shí)，通過(guò)設(shè)定基準(zhǔn)流體所固有的流量特性函數(shù)而計(jì)算出的流量值，及在利用作為基準(zhǔn)的質(zhì)量流量計(jì)來(lái)測(cè)定出所述滿標(biāo)度流量時(shí)的流量值。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的質(zhì)量流量計(jì)，其特征在于：

所述儀器誤差修正參數(shù)是以氮?dú)鉃樵嚇恿黧w、并對(duì)作為此試樣流體的基準(zhǔn)氣體實(shí)際測(cè)定而求得的系數(shù)，且此系數(shù)是其他不同的多個(gè)試樣氣體也共用的系數(shù)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的質(zhì)量流量計(jì)，其特征在于：

所述儀器誤差修正參數(shù)是以氮?dú)鉃樵嚇恿黧w、并對(duì)作為此試樣流體的基準(zhǔn)氣體實(shí)際測(cè)定而求得的系數(shù)，且此系數(shù)是其他不同的多個(gè)試樣氣體也共用的系數(shù)。

6.一種質(zhì)量流量控制器，其包括：

根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的質(zhì)量流量計(jì)；

控制閥，設(shè)置在所述流路中；及

控制部，對(duì)所計(jì)算出的流量值和流量設(shè)定值進(jìn)行對(duì)比運(yùn)算，并根據(jù)其運(yùn)算結(jié)果來(lái)控制所述控制閥。

7.一種質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)，更包括：

存儲(chǔ)部，和根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的多個(gè)質(zhì)量流量計(jì)進(jìn)行通信，并且存儲(chǔ)有多個(gè)和試樣流體相關(guān)的流量特性函數(shù)；及

試樣流體受理部，受理對(duì)所述流路中流動(dòng)的試樣流體的指定；且

所述設(shè)定部從所述存儲(chǔ)部接收由所述受理部所指定的試樣流體所固有的流量特性函數(shù)，并設(shè)定所指定的試樣流體所固有的流量特性函數(shù)。

8.一種質(zhì)量流量控制器系統(tǒng)，更包括：

存儲(chǔ)部，和根據(jù)權(quán)利要求6所述的多個(gè)質(zhì)量流量控制器進(jìn)行通信，并且存儲(chǔ)有多個(gè)和試樣流體相關(guān)的流量特性函數(shù)；及

試樣流體受理部，受理對(duì)所述流路中流動(dòng)的試樣流體的指定；且

所述設(shè)定部從所述存儲(chǔ)部接收由所述受理部所指定的試樣流體所固有的流量特性函數(shù)，并設(shè)定所指定的試樣流體所固有的流量特性函數(shù)。