[發明專利]薄膜半導體裝置、電光裝置和電子設備

有效

• 申請號: 201010133968.3
• 申請日: 2010-03-12
• 公開（公告）號: CN101834190A
• 公開（公告）日: 2010-09-15
• 發明（設計）人: 廣島安
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L23/528;H01L21/84;H01L21/768;G02F1/136
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 陳海紅;劉瑞東

技術領域

本發明涉及薄膜半導體裝置、電光裝置和電子設備，具體地說，涉及薄膜晶體管的構造。

背景技術

近年，顯示高清等的高精細圖像的情況越來越多，例如，作為電子設備的投影機中，作為電光裝置的液晶面板用作光調制元件(光閥)，顯示高精細圖像的情況越來越多。

光閥中采用的液晶面板使用石英等作為基板，作為用于逐個像素地對液晶施加規定的電壓以驅動液晶分子的像素電路，在基板上形成薄膜晶體管。為了顯示高精細圖像，增大在液晶面板的顯示區域形成的像素數，或增大圖像的顯示灰度數。從而，在液晶面板形成的薄膜晶體管由于成為對每個像素的電壓施加時間短的高速驅動狀態，因此必須具有可以短時間對液晶施加與顯示的圖像灰度相應的電壓的高速驅動性能。

作為這樣的高速驅動對應的像素電路中采用的薄膜晶體管，例如專利文獻1中公開了將N溝道型和P溝道型的兩方薄膜晶體管并聯連接而構成互補型的電路(也稱為CMOS電路)的技術。公開了通過這樣的CMOS電路，可以形成與高速驅動對應的像素電路的情況。

專利文獻1：日本特開平9-244068號公報。

但是，在各像素配置N溝道型和P溝道型的2個薄膜晶體管，與薄膜晶體管的半導體層連接的接觸孔的形成數從2個增至4個，薄膜晶體管的平面占有面積增大。因而，無法使信號線的間隔或掃描線的間隔狹窄，產生難以使由信號線和掃描線區分形成的像素區域小、像素數多而顯示高精細圖像的問題。

發明內容

本發明為解決上述問題的至少一部分而提出，可實現以下的實施例或適用例。

[適用例1]在基板上具有溝道為N型的薄膜晶體管和溝道為P型的薄膜晶體管的薄膜半導體裝置，其特征在于，上述N型的薄膜晶體管的源極區域和上述P型的薄膜晶體管的源極區域在至少部分區域中相鄰配置，并且經由在上述部分區域形成的1個接觸孔與第1電極連接，上述N型的薄膜晶體管的漏極區域和上述P型的薄膜晶體管的漏極區域在至少部分區域中相鄰配置，并且經由在上述部分區域形成的1個接觸孔與第2電極連接。

通常，在各個薄膜晶體管形成連接源極區域和源極電極以及連接漏極區域和漏極電極的接觸孔。從而，需要4個接觸孔。但是，若采用這樣的構成，則2個薄膜晶體管中，2個源極區域和源極電極之間的電氣連接，或，2個漏極區域和漏極電極之間的電氣連接，可以各自通過1個接觸孔進行。從而，接觸孔的增加被抑制，因此可以減小連接部的面積，可以減小2個薄膜晶體管的占有面積。其結果，可以增加像素數，顯示高精細圖像。

[適用例2]上述薄膜半導體裝置，其特征在于，在上述基板上分別形成多個在規定的方向上延伸的信號線和在與該信號線交差的方向上并行延伸的第1掃描線和第2掃描線，上述第1電極或上述第2電極的一方是在由上述信號線、上述第1掃描線和上述第2掃描線所區分的區域形成的單位電極，或與該單位電極連接的電極，上述第1電極或上述第2電極的另一方是上述信號線。

根據該構成，通過構成N型及P型的互補型電路的薄膜晶體管，可以與顯示圖像的灰度對應地將向信號線施加的電壓短時間地對單位電極施加，因此可以形成與高速驅動對應的像素電路。

[適用例3]上述薄膜半導體裝置，其特征在于，上述N型的薄膜晶體管的柵極電極與上述第1掃描線電氣連接，上述P型的薄膜晶體管的柵極電極與上述第2掃描線電氣連接，上述N型的薄膜晶體管的柵極電極和上述P型的薄膜晶體管的柵極電極，在上述第1掃描線或上述第2掃描線延伸的方向上偏移形成。

根據該構成，柵極電極在第1掃描線或第2掃描線的法線方向上不對向，因此可以減小薄膜晶體管的第1掃描線或第2掃描線的法線方向上的區域長度。從而，可使2個薄膜晶體管的占有區域在第1掃描線或第2掃描線的法線方向上狹窄，因此可以增加該法線方向上的像素數。

[適用例4]每個像素具有被施加電壓或電流的像素電極，通過將上述電壓或電流的變化變換為光學變化的電光變換來顯示圖像的電光裝置，其特征在于，具有上述薄膜半導體裝置，上述薄膜半導體裝置中的上述單位電極形成為上述像素電極。

根據該構成，即使是像素數多的電光裝置，例如，也可以將向信號線施加的電壓短時間對像素電極施加。從而，可以顯示高精細圖像。

[適用例5]上述電光裝置，其特征在于，上述像素是顯示色為紅色、綠色、藍色之一并在上述信號線的延伸方向上形成為按規定的順序排列上述顯示色的子像素。

根據該構成，可獲得能夠顯示高精細彩色圖像的液晶面板。

[適用例6]上述電光裝置，其特征在于，上述像素電極是反射光的反射電極。