[發(fā)明專利]光束照射裝置以及位置檢測裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010129472.9
• 申請日: 2010-03-08
• 公開（公告）號: CN101833167A
• 公開（公告）日: 2010-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 前納良昭;山口淳
• 申請（專利權(quán)）人: 三洋電機(jī)株式會社;三洋光學(xué)設(shè)計(jì)株式會社
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10;G01S7/481;G01S17/06
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 李貴亮

1.一種光束照射裝置，其特征在于，具有：

激光光源，其射出激光；

執(zhí)行器，通過使入射所述激光的光學(xué)元件轉(zhuǎn)動，在目標(biāo)區(qū)域使激光進(jìn)行掃描；

伺服光源，其射出伺服光；

透明體，其隨著所述光學(xué)元件的轉(zhuǎn)動進(jìn)行轉(zhuǎn)動，并且入射所述伺服光；

光檢測器，其對透過所述透明體的所述伺服光進(jìn)行接收，從而輸出對應(yīng)于該接收位置的信號；以及

衍射部，其與所述透明體一起進(jìn)行轉(zhuǎn)動，并且在所述透明體的轉(zhuǎn)動方向上衍射所述伺服光。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光束照射裝置，其特征在于，

所述衍射部是在所述透光體的表面上一體形成的衍射圖案。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的光束照射裝置，其特征在于，

所述執(zhí)行器使所述光學(xué)元件在第1軸和垂直于該第1軸的第2軸的周圍進(jìn)行轉(zhuǎn)動，

所述衍射部至少在所述光學(xué)元件于所述第1軸的周圍進(jìn)行轉(zhuǎn)動時(shí)的所述透明體的轉(zhuǎn)動方向上，衍射所述伺服光。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3的任意一項(xiàng)所述的光束照射裝置，其特征在于，

所述光學(xué)元件是反射鏡。

5.一種位置檢測裝置，其檢測物體的轉(zhuǎn)動位置，該位置檢測裝置的特征在于，具有：

伺服光源，其射出伺服光；

透明體，其隨著所述物體的轉(zhuǎn)動進(jìn)行轉(zhuǎn)動，并且入射所述伺服光；

光檢測器，其對透過所述透明體的所述伺服光進(jìn)行接收，從而輸出對應(yīng)于該接收位置的信號；以及

衍射部，其與所述透明體一起進(jìn)行轉(zhuǎn)動，并且在所述透明體的轉(zhuǎn)動方向上衍射所述伺服光。