[發(fā)明專(zhuān)利]可獲得均勻電場(chǎng)的大面積VHF-PECVD反應(yīng)室瓦片式功率電極無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201010125516.0 | 申請(qǐng)日： | 2010-03-17 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101800148A | 公開(kāi)（公告）日： | 2010-08-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 葛洪;張曉丹;趙穎 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 南開(kāi)大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01J37/04 | 分類(lèi)號(hào)： | H01J37/04;H01J37/32;C23C16/505 |
| 代理公司： | 天津佳盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 12002 | 代理人： | 廖曉榮 |
| 地址： | 300071*** | 國(guó)省代碼： | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 可獲得 均勻 電場(chǎng) 大面積 vhf pecvd 反應(yīng) 瓦片 功率 電極 | ||
1.一種可獲得均勻電場(chǎng)的大面積VHF-PECVD反應(yīng)室瓦片式功率電極，包括功率電極板和功率饋入連接端口，其特征在于所述功率電極板的板面為單面或雙面的內(nèi)凹弧形曲面，弧形曲面軸向與功率饋入連接端口平行；所述功率饋入連接端口為偶數(shù)個(gè)點(diǎn)，對(duì)稱(chēng)設(shè)置在功率電極板的端面上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可獲得均勻電場(chǎng)的大面積VHF-PECVD反應(yīng)室瓦片式功率電極，其特征在于所述功率饋入連接端口為兩點(diǎn)、四點(diǎn)、八點(diǎn)或八點(diǎn)以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的可獲得均勻電場(chǎng)的大面積VHF-PECVD反應(yīng)室瓦片式功率電極，其特征在于所述功率電極板是實(shí)心電極板或是具有小孔的Showerhead形式的電極板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的可獲得均勻電場(chǎng)的大面積VHF-PECVD反應(yīng)室瓦片式功率電極，其特征在于所述功率電極板的正投影是正方形或長(zhǎng)方形。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可獲得均勻電場(chǎng)的大面積VHF-PECVD反應(yīng)室瓦片式功率電極，其特征在于所述功率饋入連接端口的每個(gè)端口的相位相等、振幅相等。
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