[發(fā)明專利]金剛石線鋸及金剛石線鋸的制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010124913.6
• 申請日: 2010-03-01
• 公開（公告）號: CN101823240A
• 公開（公告）日: 2010-09-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 細(xì)江晃久;稻澤信二;新田耕司;松本斷;星間昭人
• 申請（專利權(quán)）人: 住友電氣工業(yè)株式會社;住友電工鋼線株式會社
• 主分類號: B24D3/00
• 分類號: B24D3/00;B24D11/00
• 代理公司: 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 王海川;穆德駿

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及金剛石線鋸及該金剛石線鋸的制造方法。

背景技術(shù)

在制造各種半導(dǎo)體器件時，通過切片加工將包含單晶、多晶或非晶的硅、水晶等的、例如柱狀的原料錠切割加工為預(yù)定厚度尺寸的薄板(晶片)。作為用于以高精度和低價格對這樣的高脆性材料進(jìn)行切割的加工方法，正在嘗試使用將磨粒例如金剛石等的超磨粒固著在線的外圍面而形成的固定磨粒型線鋸。

作為這樣的技術(shù)，有下述專利文獻(xiàn)1～4。

下述專利文獻(xiàn)1是涉及線鋸及其制造方法的發(fā)明，其中公開了超磨粒牢固地固著到線上而不脫落、粗細(xì)恒定從而能夠得到高切割精度的線鋸。

另外，下述專利文獻(xiàn)2是涉及線鋸的制造方法及制造裝置的發(fā)明，其中公開了具有低密度磨粒分布的電沉積線鋸。

另外，下述專利文獻(xiàn)3是涉及線鋸及其制造方法的發(fā)明，其中公開了加工效率高且不易斷線、而且制造效率高的線鋸。

另外，下述專利文獻(xiàn)4是涉及電沉積線工具及其制造方法的發(fā)明，其中公開了銳利度優(yōu)良的電沉積線工具。

但是，上述專利文獻(xiàn)1～4中所述的線鋸及電沉積線工具，線上鍍敷的金屬均為Ni、Cu等，因此不具有充分的硬度，存在使用時銳利度差、容易斷線的問題。

另外，上述專利文獻(xiàn)1中所述的線鋸，由于具有通過鍍層將超磨粒固定在表面的構(gòu)成，因此超磨粒僅物理地埋入鍍層中，存在保持性低的問題。

另外，上述專利文獻(xiàn)2、3中所述的線鋸，由于使用在磨粒表面覆蓋有金屬的覆蓋磨粒，因此具有通過鍍層不僅物理地保持磨粒、而且化學(xué)地保持磨粒的優(yōu)點。但是，雖然磨粒的保持性提高，但是覆蓋磨粒的金屬層厚度也均變厚，存在使用時銳利度受損的問題。

專利文獻(xiàn)1：日本特開平9-150314號公報

專利文獻(xiàn)2：日本專利第4157724號公報

專利文獻(xiàn)3：日本特開2004-50301號公報

專利文獻(xiàn)4：日本特開2006-181701號公報

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明的目的在于解決上述現(xiàn)有問題，提供通過具有充分的硬度而在使用時銳利度良好并且不易斷線的金剛石線鋸及該金剛石線鋸的制造方法。另外，本發(fā)明的目的在于提供通過在金屬制芯線的整個外表面上覆蓋所分散保持的金剛石磨粒的保持性高的金屬薄膜而在使用時不損害銳利度的金剛石線鋸及該線鋸的制造方法。

根據(jù)上述本發(fā)明的第一特征，鍍層具有含有鎢的鎳合金的構(gòu)成，因此作為金剛石線鋸具有充分的硬度。因此，可以得到使用時的銳利度良好并且不易斷線的金剛石線鋸。

另外，本發(fā)明的金剛石線鋸，除了具有上述本發(fā)明的第一特征以外，還具有第二特征，即：鎳合金含有1重量％～60重量％的鎢。

根據(jù)上述本發(fā)明的第二特征，除了上述本發(fā)明的第一特征的作用效果以外，由于具有鎳合金含有1重量％～60重量％的鎢的構(gòu)成，因此，可以使構(gòu)成金剛石線鋸的鍍層成為良好的覆膜。

本發(fā)明的金剛石線鋸中，金屬制芯線的外表面由鍍層覆蓋并且該鍍層中分散保持有金剛石磨粒，其第三特征為：包含所述鍍層及所述金剛石磨粒的金剛石線鋸的整個外表面由金屬薄膜覆蓋。

根據(jù)上述本發(fā)明的第三特征，金屬制芯線的外表面由鍍層覆蓋并且該鍍層中分散保持有金剛石磨粒，包含所述鍍層及所述金剛石磨粒的金剛石線鋸的整個外表面由金屬薄膜覆蓋，由于具有這樣的構(gòu)成，因此金剛石磨粒不僅由鍍層保持，而且也由金屬薄膜保持，由此可以得到金剛石磨粒的保持性高的金剛石線鋸。

另外，本發(fā)明的金剛石線鋸，除了具有上述本發(fā)明的第三特征以外，還具有第四特征，即：金屬薄膜的厚度為0.001μm～1μm。

根據(jù)上述本發(fā)明的第四特征，除了具有上述本發(fā)明的第三特征的作用效果以外，由于具有金屬薄膜的厚度為0.001μm～1μm的構(gòu)成，因此，可以得到具有金剛石磨粒的保持性并且使用時不損害銳利度的金剛石線鋸。

另外，本發(fā)明的金剛石線鋸，除了具有上述本發(fā)明的第三或第四特征以外，還具有第五特征，即：金屬薄膜為包含選自Al、Mo、Nb、Si、Ti、V、W、Y和Zr中的一種元素的金屬或包含選自Al、Mo、Nb、Si、Ti、V、W、Y和Zr中的兩種以上元素的合金。

根據(jù)上述本發(fā)明的第五特征，除了具有上述本發(fā)明的第三或第四特征的作用效果以外，由于具有金屬薄膜為包含選自Al、Mo、Nb、Si、Ti、V、W、Y和Zr中的一種元素的金屬或包含兩種以上元素的合金的構(gòu)成，因此，可以得到具有高硬度的金屬薄膜，可以得到使用時不損害銳利度的金剛石線鋸。

另外，本發(fā)明的金剛石線鋸，除了具有上述本發(fā)明的第三～第五中任一項特征以外，還具有第六特征，即：金剛石磨粒的平均粒徑為1μm～60μm。