[發(fā)明專利]一種吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010123561.2
• 申請(qǐng)日: 2010-02-10
• 公開（公告）號(hào): CN101792065A
• 公開（公告）日: 2010-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王燕清
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫先導(dǎo)自動(dòng)化設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): B65G47/91
• 分類號(hào): B65G47/91;B65G47/06
• 代理公司: 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所 32104
• 代理人: 殷紅梅

1.?一種吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)，包括機(jī)架（9）、安裝在機(jī)架（9）上的升降裝置、移動(dòng)式吸盤裝置和硅片輸送裝置；移動(dòng)式吸盤裝置與升降裝置相對(duì)應(yīng)，硅片輸送裝置設(shè)置在左右兩個(gè)升降裝置的中間，用于將移動(dòng)式吸盤裝置吸取的硅片（11）輸送出；其特征在于：機(jī)架（9）上設(shè)有上臺(tái)板（4）和下臺(tái)板（13）；升降裝置安裝在機(jī)架（9）下臺(tái)板（13）上，升降裝置左右各有一個(gè)，用于將疊放在一起的硅片（11）按指定距離抬升；移動(dòng)式吸盤裝置安裝在上臺(tái)板（4）上，用于左右交替地吸取升降裝置上的硅片（11），并交替地將硅片（11）放置在硅片輸送裝置上；硅片輸送裝置安裝在下臺(tái)板（13）上；

所述升降裝置包括有硅片座（12）、升降桿（14）、第二直線導(dǎo)軌（15）、第二絲桿（16）、第二軸承（17）、支撐座（18）、第二聯(lián)軸器（19）、電機(jī)支撐桿（20）和第二伺服電機(jī)（21），支撐座（18）安裝在下臺(tái)板（13）的下表面上，第二絲桿（16）通過第二軸承（17）豎直安裝在支撐座（18）上，第二伺服電機(jī)（21）利用電機(jī)支撐桿（20）安裝在支撐座（18）的下端，第二伺服電機(jī)（21）的輸出軸通過第二聯(lián)軸器（19）與第二絲桿（16）連接，第二絲桿（16）上裝配有豎直移動(dòng)塊（41），第二絲桿（16）與豎直移動(dòng)塊（41）構(gòu)成螺紋傳動(dòng)副；第二直線導(dǎo)軌（15）固定在支撐座（18）上，第二直線導(dǎo)軌（15）起到導(dǎo)正豎直移動(dòng)塊（41）的作用，在第二直線導(dǎo)軌（15）上安裝有第二滑塊（44），第二滑塊（44）與豎直移動(dòng)塊（41）連接；升降桿（14）與第二滑塊（44）相連接，在下臺(tái)板（13）上開設(shè)有孔，升降桿（14）穿過該孔，升降桿（14）的上端安裝硅片座（12）；

所述移動(dòng)式吸盤裝置包括有絲桿固定座（1）、第一絲桿（2）、第一直線導(dǎo)軌（3）、固定板（5）、氣缸（6）、真空吸盤（7）、吸盤固定板（8）、第一伺服電機(jī)（37）和第一軸承39組成，絲桿固定座（1）固定在上臺(tái)板（4）上，第一絲桿（2）通過第一軸承（39）安裝在絲桿固定座（1）上，在其中一個(gè)絲桿固定座（1）的外側(cè)固定有第一伺服電機(jī)（37），第一伺服電機(jī)（37）的輸出軸與第一絲桿（2）連接；第一絲桿（2）上裝配有水平移動(dòng)塊（40），第一絲桿（2）與水平移動(dòng)塊（40）構(gòu)成螺紋傳動(dòng)副；第一直線導(dǎo)軌（3）固定在上臺(tái)板（4）上，在第一直線導(dǎo)軌（3）上安裝有第一滑塊（43），水平移動(dòng)塊（40）與第一滑塊（43）連接，第一直線導(dǎo)軌（3）起支撐并導(dǎo)正水平移動(dòng)塊（40）的作用；固定板（5）連接在第一滑塊（43）上；氣缸（6）的缸體尾端固定在固定板（5）的前端兩側(cè)，氣缸（6）的活塞桿端向下連接有吸盤固定板（8），在吸盤固定板（8）上安裝有至少一個(gè)真空吸盤（7）；

所述硅片輸送裝置包括有前滾輪軸（22a）、后滾輪軸（22b）、第三軸承（23）、前滾輪（24a）、后滾輪（24b）、輸送帶（25）、支撐板（26）、第四軸承（27）、平鍵（28）、傳動(dòng)輪（29）、傳動(dòng)軸（30）和第三伺服電機(jī)（33），支撐板（26）固定在下臺(tái)板（13）上，第三伺服電機(jī)（33）固定在支撐板（26）上，傳動(dòng)軸（30）通過第四軸承（27）安裝在支撐板（26）上，第三伺服電機(jī)（33）的輸出軸與傳動(dòng)軸（30）連接，在傳動(dòng)軸（30）上安裝有傳動(dòng)輪（29），傳動(dòng)輪（29）與傳動(dòng)軸（30）通過平鍵（28）連接傳動(dòng)；在傳動(dòng)軸（30）上前方和上后方的支撐板（26）上分別安裝有前滾輪軸（22a）和后滾輪軸（22b），前滾輪軸（22a）和后滾輪軸（22b）上分別通過第三軸承（23）安裝有前滾輪（24a）和后滾輪（24b）；傳動(dòng)輪（29）、前滾輪（24a）和后滾輪（24b）配裝有輸送帶（25），傳動(dòng)輪（29）帶動(dòng)輸送帶（25）轉(zhuǎn)動(dòng)，輸送帶（25）將放置在其上的硅片（11）輸送出；

所述吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)還包括用于將被吸的硅片（11）與其他硅片（11）分開的噴氣裝置，噴氣裝置設(shè)置在升降裝置的外側(cè)，噴氣裝置包括有固定塊（10）、噴氣管（34）和氣管接頭（35），固定塊（10）固定在下臺(tái)板（13）上，噴氣管（34）安裝在固定塊（10）上，噴氣管（34）上開設(shè)有徑向的噴氣孔（42）；噴氣管（34）的一端連接氣管接頭（35），氣管接頭（35）與氣源相連通。

2.如權(quán)利要求1所述的吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)，其特征還在于，所述真空吸盤（7）為4個(gè)，4個(gè)真空吸盤（7）安裝在吸盤固定板（8）的四角上。