[發(fā)明專利]準(zhǔn)分子燈用照度測量裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010116036.8
• 申請日: 2010-02-09
• 公開（公告）號: CN101832814A
• 公開（公告）日: 2010-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 大塚優(yōu)一;石原肇
• 申請（專利權(quán)）人: 優(yōu)志旺電機株式會社
• 主分類號: G01J1/42
• 分類號: G01J1/42
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 黃劍鋒

1.一種準(zhǔn)分子燈用照度測量裝置，包括對真空紫外光進行檢測的受光傳感器、和包含該受光傳感器的殼體，其特征在于，

在上述殼體中，

在與上述受光傳感器的受光面相對的位置上，以其一面向外部開口的狀態(tài)設(shè)有導(dǎo)光路空間；

并且設(shè)有導(dǎo)入惰性氣體的氣體導(dǎo)入口、以及從該氣體導(dǎo)入口延伸到上述導(dǎo)光路空間的氣體流路，

上述準(zhǔn)分子燈用照度測量裝置還具備從上述氣體導(dǎo)入口導(dǎo)入的上述惰性氣體在上述導(dǎo)光路空間沿著包括上述受光傳感器的受光面的面流通后、從該導(dǎo)光路空間的開口排出到外部的氣體流通機構(gòu)，

從包括上述受光傳感器的受光面的面的垂直方向俯視，上述導(dǎo)光路空間的開口的面積比上述受光傳感器的受光面的面積大。

2.如權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)分子燈用照度測量裝置，其特征在于，

設(shè)有多條上述氣體流路，從包括受光傳感器的受光面的面的垂直方向的俯視，多個氣體流路的惰性氣體的噴射方向的出口被取向為朝向該受光傳感器的受光面的中心的狀態(tài)。