[發(fā)明專利]一種顯示裝置與測(cè)量其表面結(jié)構(gòu)的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010114496.7
• 申請(qǐng)日: 2010-02-09
• 公開（公告）號(hào): CN101900909A
• 公開（公告）日: 2010-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林志維;王閔正;陳雍程;劉泓旻
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 華映視訊(吳江)有限公司;中華映管股份有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/1335
• 分類號(hào): G02F1/1335;G02F1/167;G01B21/02
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 孫長龍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明關(guān)于一種顯示裝置與測(cè)量其表面結(jié)構(gòu)的方法，特別是指一種顯示裝置表面結(jié)構(gòu)與測(cè)量其表面結(jié)構(gòu)尺寸的方法，其是應(yīng)用于顯示裝置的領(lǐng)域。

背景技術(shù)

近年來顯示器產(chǎn)品以輕、薄、短、小、高分辨率為設(shè)計(jì)概念，但這樣的要求使得顯示器內(nèi)部構(gòu)造物的設(shè)計(jì)、制造與尺寸量測(cè)上遇到很大的困難，為了在更小的空間內(nèi)設(shè)置更多像素以提供更高的分辨率，往往造成各種構(gòu)造物間隔空間的不足，導(dǎo)致構(gòu)造物尺寸量結(jié)果的精確性與再現(xiàn)性不佳，進(jìn)而對(duì)依賴尺寸量測(cè)結(jié)果以調(diào)整制造參數(shù)的制造工程造成困難，造成產(chǎn)品良率下降與產(chǎn)量減少的缺點(diǎn)。

請(qǐng)參閱圖1，圖1為一光學(xué)式結(jié)構(gòu)量測(cè)設(shè)備(未繪示)與一顯示器(未繪示)用的一第一基板210，該第一基板210具有一第一表面212；一圖形化遮光層214，包含多數(shù)開口部216，設(shè)置于該第一基板210的該第一表面212上；至少一第一凸起物218，分別覆蓋于該圖形化遮光層214的該些開口部216與該遮光層214的一部份；至少一第二凸起物2184，設(shè)置于該圖形化遮光層214。該光學(xué)式結(jié)構(gòu)量測(cè)設(shè)備(未繪示)包含一可定位移動(dòng)平臺(tái)(未繪示)、一光源(未繪示)、一運(yùn)算處理單元(未繪示)與一顯微鏡頭100，該鏡頭100包含一分光鏡(未繪示)、一第一光偵測(cè)器(未繪示)與一第二光偵測(cè)器(未繪示)。請(qǐng)參照?qǐng)D2，圖2為一光學(xué)式結(jié)構(gòu)量測(cè)設(shè)備(未繪示)與一顯示器(未繪示)用的一第一基板210的A-A’剖面示意圖，該可定位移動(dòng)平臺(tái)承載該待測(cè)顯示器(未繪示)用的該第一基板210，使該顯微鏡頭100位于該第一基板210的一該圖形化遮光層214的正上方，該光源對(duì)該圖形化遮光層214發(fā)射出一平行光束102，該平行光束102經(jīng)該分光鏡分為一量測(cè)光束與一干涉光束，該量測(cè)光束照射在該第一基板210的該圖形化遮光層214，該第一光偵測(cè)器再接收自該圖形化遮光層214反射回到該顯微鏡頭的反射光并轉(zhuǎn)換為一第一信號(hào)，該干涉光束由該第二光偵測(cè)器接收并轉(zhuǎn)換為一第二信號(hào)；請(qǐng)參閱圖3，圖3為一光學(xué)式結(jié)構(gòu)量測(cè)設(shè)備(未繪示)與一顯示器(未繪示)用的一第一基板210的A-A’剖面示意圖，移動(dòng)該可定位移動(dòng)平臺(tái)使該該顯微鏡頭100位于該第一基板210的第一表面212的一第一凸起物2182正上方，該光源對(duì)該第一凸起物218發(fā)射出一平行光束102，該平行光束102經(jīng)該分光鏡分為一量測(cè)光束與一干涉光束，該量測(cè)光束照射在該第一基板的第一凸起物218，該第一光偵測(cè)器再接收自該第一凸起物218反射回到該顯微鏡頭的反射光并轉(zhuǎn)換為一第三信號(hào)，該干涉光束由該第二光偵測(cè)器接收并轉(zhuǎn)換為一第四信號(hào)；請(qǐng)參閱圖4，圖4為一光學(xué)式結(jié)構(gòu)量測(cè)設(shè)備(未繪示)與一顯示器(未繪示)用的一第一基板210的A-A’剖面示意圖，再移動(dòng)該可定位移動(dòng)平臺(tái)使該該顯微鏡頭100位于該第一基板210的第一表面212的一第二凸起物2184正上方，該光源對(duì)該第二凸起物2184發(fā)射出一平行光束，該平行光束經(jīng)該分光鏡分為一量測(cè)光束與一干涉光束，該量測(cè)光束照射在該第一基板的第二凸起物2184，該第一光偵測(cè)器再接收自該第二凸起物2184反射回到該顯微鏡頭的反射光并轉(zhuǎn)換為一第五信號(hào)，該干涉光束由該第二光偵測(cè)器接收并轉(zhuǎn)換為一第六信號(hào)；該運(yùn)算處理單元接收該第一信號(hào)、該第二信號(hào)、該第三信號(hào)、第四信號(hào)、該第五信號(hào)與該第六信號(hào)進(jìn)行運(yùn)算并輸出該第一基板表面的第一凸起物2182的高度與第二凸起物2184的高度值。

然而，為了在更小的空間內(nèi)設(shè)置更多像素以提供更高的分辨率，各像素之間的遮光層幅寬必須縮小而無法提供足夠?qū)挾鹊膯我黄矫妫沟昧繙y(cè)光束照射在該圖形化遮光層214時(shí)不能得到均一的反射光，造成構(gòu)造物尺寸量測(cè)結(jié)果的精確性與再現(xiàn)性不佳，進(jìn)而對(duì)依賴尺寸量測(cè)結(jié)果以調(diào)整制造參數(shù)的制造工程造成困難，使得產(chǎn)品良率下降與產(chǎn)量減少的缺點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的一目的，在于提供一種顯示裝置與其表面結(jié)構(gòu)量測(cè)方法，其能避免傳統(tǒng)方式所產(chǎn)生的構(gòu)造物尺寸量結(jié)果的精確性與再現(xiàn)性不佳而衍生的產(chǎn)品良率下降與產(chǎn)量減少問題。