[發(fā)明專利]太陽能晶圓快速檢測系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010109035.0
• 申請日: 2010-02-11
• 公開（公告）號: CN102156106A
• 公開（公告）日: 2011-08-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 潘世耀;薛名凱;林裕軒;簡宏達
• 申請（專利權(quán)）人: 致茂電子(蘇州)有限公司
• 主分類號: G01N21/35
• 分類號: G01N21/35;G01N21/88
• 代理公司: 北京明和龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11281
• 代理人: 郁玉成

1.一種太陽能晶圓快速檢測系統(tǒng)，供檢測至少一片待測太陽能晶圓，其中該太陽能晶圓具有一個正面及一個背面，并具有一個已知吸收光譜及一個已知放射光譜；其特征在于，該檢測系統(tǒng)包括：

一個供照射該待測太陽能晶圓該正面的前置光源；

一個供朝向該太陽能晶圓背面、與該前置光源時序交錯地放射至少具有部分該太陽能晶圓吸收光譜波長成分光能，使該太陽能晶圓吸收該波長成分的光能、并釋放該放射光譜至少部分波長成分光能的背光源；及

一個可擷取該太陽能晶圓正面反射/漫射光、并可擷取對應(yīng)該放射光譜上述至少部分波長范圍光線的影像擷取裝置。

2.如權(quán)利要求1所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，其中該影像擷取裝置包括一具攝影機；及設(shè)置于該攝影機前方的至少一片供該太陽能晶圓放射光譜中的上述至少部分波長通過、并至少部分濾除外部雜光及該背光源所發(fā)光線的濾光片。

3.如權(quán)利要求2所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，其中該影像擷取裝置更包括一組依照擷取影像資料、將該濾光片移入/移出該攝影機的擷取影像光程的轉(zhuǎn)換器。

4.如權(quán)利要求1、2或3所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，其中該前置光源是一可見光源。

5.如權(quán)利要求1、2或3所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，其中該背光源是一紅外光源。

6.如權(quán)利要求1、2或3所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，更包含一個接收該影像擷取裝置擷取的影像資料并加以判讀的處理裝置。