[發(fā)明專利]腔門緊鎖裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010107543.5
• 申請日: 2010-01-29
• 公開（公告）號: CN101834117A
• 公開（公告）日: 2010-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊明生;劉惠森;范繼良;葉宗鋒;郭遠倫;王曼媛;王勇
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞宏威數(shù)碼機械有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種板類部件的固定裝置，尤其涉及一種適用于將腔門緊鎖于腔體壁上且能解除鎖接的腔門緊鎖裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件或平板顯示器件的制造工藝中，為了保證較高的清潔度，常常需要在真空設(shè)備中完成各種工藝，因此用于制造半導(dǎo)體器件或平板顯示器件的設(shè)備，一般被設(shè)計成將基板輸送到真空設(shè)備中并利用等離子體對基板執(zhí)行所需的工藝，以O(shè)LED(Organic?Light-Emitting?Diode，有機發(fā)光二極管)的真空蒸鍍?yōu)槔瑢⒓庸ず玫幕鍌鬏斨撩芊獾恼婵展に囀覂?nèi)，在真空條件下，將真空工藝室內(nèi)的固體材料加熱蒸發(fā)，蒸發(fā)出來的原子或分子自由地吸附在基板上逐漸形成薄膜，進而形成OLED的各個材料層。

現(xiàn)有的真空加工設(shè)備通常包括三種真空腔室，即負載室、傳送室及工藝室，負載室用于從外部站臺接收將要在設(shè)備中進行加工的基板以便裝載基板，或用來輸出設(shè)備中加工完成的基板以便卸載基板；傳送室用于在各個腔室之間傳送基板；工藝室用來在真空環(huán)境下利用等離子體或熱能對基板執(zhí)行所需的工藝，如真空蒸鍍或蝕刻工藝等。由于工藝室利用各種加工氣體或等離子氣體來重復(fù)大量工藝，因此，工藝室內(nèi)的設(shè)備易于受損或受污染，從而需要定期更換或維修。因此，工藝室一般設(shè)計成由中空結(jié)構(gòu)的腔體和可啟閉的腔門密封構(gòu)成，腔門可以打開以便對工藝室內(nèi)部進行維護或更換，而在執(zhí)行工藝步驟時腔門關(guān)閉且要能保證工藝室內(nèi)部的密封性，因此常常在腔門內(nèi)側(cè)安裝密封圈，當(dāng)腔門關(guān)閉時保證腔門與腔體密封，腔門關(guān)閉后還需要一固定裝置將腔門與腔體進行固定連接，以進一步加強真空工藝室的密封性并保證操作的安全性。

現(xiàn)有的用于將腔門固定于腔體壁上的裝置，一般采用頭部具有螺紋的旋鈕，旋鈕的中部具有壓紋，在腔門上貫穿開設(shè)有與旋鈕相對應(yīng)的安裝孔，腔體壁上開設(shè)有與安裝孔相對應(yīng)的螺紋孔，用于與旋鈕配合連接，腔門關(guān)閉時，將旋鈕的頭部旋入腔體壁上的螺紋孔內(nèi)使腔門與腔體壁固定，腔門與腔體壁壓緊實現(xiàn)真空工藝室的密封；然而，為了保持真空工藝室的密封需要最大限度的旋進壓紋旋鈕，這樣所有的壓力都需要由腔門上的密封圈承擔(dān)，導(dǎo)致密封圈壓迫量過大而影響密封效果，同時也縮短了密封圈的使用壽命；需要開啟腔門時，需要將旋鈕旋出腔體壁上的螺紋孔，這樣在腔門開啟過程中旋鈕在重力的作用下容易脫離腔門上的安裝孔，為使用帶來諸多不便。

因此，急需一種能分擔(dān)密封圈壓迫量，在腔門開啟時能防止脫落且操作簡便的鎖緊裝置。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種能分擔(dān)密封圈壓迫量，在腔門開啟時能防止脫落且操作簡便的固定裝置。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為：提供一種腔門緊鎖裝置，適用于將腔門緊鎖于腔體壁上且能解除鎖接，其包括手柄及彈簧，所述手柄向外凸伸出凸臺，所述凸臺向外凸伸出連接桿，所述連接桿的末端開設(shè)有螺紋并形成螺紋部，所述凸臺開設(shè)有環(huán)繞所述連接桿的第一環(huán)槽，所述彈簧穿設(shè)于所述連接桿上且一端安裝于所述第一環(huán)槽內(nèi)，所述彈簧的另一端凸伸出所述第一環(huán)槽，所述腔門貫穿開設(shè)有安裝孔，所述安裝孔內(nèi)開設(shè)有內(nèi)螺紋，所述腔體壁正對所述安裝孔開設(shè)有具有內(nèi)螺紋的螺紋孔，所述連接桿的螺紋部與所述安裝孔螺紋連接，所述凸臺與所述腔門的外表面分離地接觸。

較佳地，所述腔門的外表面上具有與所述第一環(huán)槽相對應(yīng)的第二環(huán)槽，所述第二環(huán)槽用于容納所述彈簧伸出第一環(huán)槽的一端，手柄的螺紋部旋入腔體壁上的安裝孔內(nèi)而與腔體壁連接時，手柄的凸臺與所述腔門的外表面相抵觸，彈簧伸出第一環(huán)槽的一端容置于腔門上的第二環(huán)槽內(nèi)并被壓縮，彈簧產(chǎn)生的彈力減小手柄的凸臺對腔門施加的壓力，使腔門與腔體壁保持適合的距離，分擔(dān)腔門與腔體壁之間的密封圈的壓迫量，即保持腔門與腔體壁之間的密封圈具有適合的壓迫量，保證腔門與腔體壁之間良好的密封效果，且增長密封圈的使用壽命。

較佳地，所述腔體壁上安裝有密封圈，腔門與腔體壁壓合時，對密封圈施加壓力，使腔門與腔體壁之間保持良好的密封性，保持工藝腔室內(nèi)部具有良好的真空性。