[發明專利]氧化硅-氧化鈰核殼復合磨料顆粒及其制備和應用

有效

• 申請號: 201010106871.3
• 申請日: 2010-02-08
• 公開（公告）號: CN101818047A
• 公開（公告）日: 2010-09-01
• 發明（設計）人: 張澤芳;劉衛麗;宋志棠
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海微系統與信息技術研究所
• 主分類號: C09K3/14
• 分類號: C09K3/14;C09G1/02;H01L21/3105;H01L21/762;B24B7/24
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 許亦琳;余明偉

1.一種氧化硅-氧化鈰核殼復合磨料顆粒的制備方法，包括如下步驟：?

1）以水玻璃為原料，通過初純、晶種制備、增加粒徑和純化步驟制得高純硅溶膠；?

2）在步驟1）中制得的高純硅溶膠中加入穩定劑聚乙烯吡咯烷酮，加熱至70~100℃，再加入鈰鹽和堿液，在70~100℃的溫度條件下反應2~24h，反應完畢以后進行陳化，然后再經超濾、稀釋、再超濾處理后即制得氧化硅-氧化鈰核殼復合磨料初產品；?

3）將步驟2）中制得的氧化硅-氧化鈰核殼復合磨料初產品進行水熱晶化后再進行超濾、稀釋、再超濾處理后即制得所述氧化硅-氧化鈰核殼復合磨料顆粒；?

所述氧化硅-氧化鈰核殼復合磨料顆粒包含氧化硅和氧化鈰，且所述復合磨料顆粒的內核為球形氧化硅內核，外殼為氧化鈰包覆層。?

2.如權利要求1中所述的氧化硅-氧化鈰核殼復合磨料顆粒的制備方法，其特征在于，所述步驟1）中，高純硅溶膠中含有粒徑為20~140nm的二氧化硅磨料顆粒，且以所述高純硅溶膠的重量計，二氧化硅磨料顆粒的重量百分比為2~10%。?

3.如權利要求1中所述的氧化硅-氧化鈰核殼復合磨料顆粒的制備方法，其特征在于，所述步驟2）中以所述高純硅溶膠中的二氧化硅的重量計，加入的聚乙烯吡咯烷酮的重量為二氧化硅重量的0.05~10%。?

4.如權利要求1中所述的氧化硅-氧化鈰核殼復合磨料顆粒的制備方法，其特征在于，所述步驟2）中的鈰鹽選自三價鈰鹽或四價鈰鹽；其中，所述三價鈰鹽選自硝酸鈰、醋酸鈰、氯化鈰和硫酸鈰中的一種；所述四價鈰鹽選自硝酸鈰銨、三氟甲基磺酸鈰和硫酸高鈰中的一種。?

5.如權利要求4中所述的氧化硅-氧化鈰核殼復合磨料顆粒的制備方法，其特征在于，所述步驟2）中，當加入的鈰鹽為三價鈰鹽時，還需要在加入鈰鹽和堿液的同時加入氧化劑。?

6.如權利要求1中所述的氧化硅-氧化鈰核殼復合磨料顆粒的制備方法，其特征在于，所述步驟2）中的堿液選自：氫氧化鉀、尿素、六亞甲基四胺和氨水中的一種或多種的混合物。?

7.如權利要求1-6任一所述的氧化硅-氧化鈰核殼復合磨料顆粒的制備方法，其特征在于，所述復合磨料顆粒的粒徑為23~160nm；且所述球形氧化硅內核的粒徑為20~140nm。?

8.如權利要求1-6任一所述的氧化硅-氧化鈰核殼復合磨料顆粒的制備方法，其特征在于，所述氧化硅-氧化鈰核殼復合磨料顆粒中，氧化鈰的重量為氧化硅重量的2~30%?。