[發(fā)明專利]三明治式光學(xué)微機(jī)械加速度傳感器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010104147.7
• 申請日: 2010-01-26
• 公開（公告）號: CN101788570A
• 公開（公告）日: 2010-07-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 侯昌倫;曾旭
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江大學(xué)
• 主分類號: G01P15/093
• 分類號: G01P15/093
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 張法高

1.一種三明治式光學(xué)微機(jī)械加速度傳感器，其特征在于包括激光光源(1)、擴(kuò)束透鏡組(2)、分光棱鏡(3)、第一光電探測器(4)、玻璃基底(5)、多晶硅薄膜層(6)、第一硅基底(7)、第二硅基底(8)、聚焦透鏡組(9)、第一亞波長光柵(10)、彈性梁(11)、位移執(zhí)行器(12)、第二光電探測器(13)、質(zhì)量塊正面淺凹槽(14)、質(zhì)量塊(15)、質(zhì)量塊背面凹槽(16)、第二亞波長光柵(17)；玻璃基底(5)上從左到右依次設(shè)有激光光源(1)、擴(kuò)束透鏡組(2)、分光棱鏡(3)、聚焦透鏡組(9)、第一光電探測器(4)，玻璃基底(5)下從上到下依次設(shè)有多晶硅薄膜層(6)、第一硅基底(7)、第二硅基底(8)，多晶硅薄膜層(6)上設(shè)有第一亞波長光柵(10)，第一硅基底(7)上設(shè)有設(shè)有質(zhì)量塊正面淺凹槽(14)，質(zhì)量塊正面淺凹槽(14)內(nèi)設(shè)有第二亞波長光柵(17)、彈性梁(11)、位移執(zhí)行器(12)、質(zhì)量塊(15)，質(zhì)量塊(15)上部設(shè)有第二亞波長光柵(17)，質(zhì)量塊(15)兩端分別設(shè)有彈性梁(11)，質(zhì)量塊(15)兩側(cè)分別設(shè)有位移執(zhí)行器(12)，質(zhì)量塊(15)下部設(shè)有質(zhì)量塊背面凹槽(16)，第二硅基底(8)上設(shè)有第二光電探測器(13)；光從激光光源(1)發(fā)出，通過擴(kuò)束透鏡組(2)、分光棱鏡(3)產(chǎn)生兩路激光、一路激光通過聚焦透鏡組(9)，照射到第一光電探測器(4)上，另一路激光通過玻璃基底(5)、第一亞波長光柵(10)、第二亞波長光柵(17)，由第二光電探測器(13)接收。

2.如權(quán)利要求1所述的一種三明治式光學(xué)微機(jī)械加速度傳感器，其特征在于所述的第一亞波長光柵(10)或第二亞波長光柵(17)的周期為0.3～2微米，厚度為0.5～3微米，第一亞波長光柵(10)與第二亞波長光柵(17)之間的空氣間隙為0.05～1微米。