[發(fā)明專利]一種利用偶氮聚合物制作光波導(dǎo)的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201010104071.8 | 申請(qǐng)日： | 2010-01-29 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101762847A | 公開（公告）日： | 2010-06-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 葉鋼;和亞寧;曲欣;王曉林;白一鳴;吳伯瑜;王曉工 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 清華大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G02B6/13 | 分類號(hào)： | G02B6/13 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 羅文群 |
| 地址： | 100084*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 利用 偶氮 聚合物 制作 波導(dǎo) 方法 | ||
1.一種用偶氮聚合物制作光波導(dǎo)的方法，其特征在于該方法包括以下步驟：
(1)對(duì)襯底進(jìn)行清洗；
(2)將環(huán)氧樹脂預(yù)聚物、異氰酸酯和N，N-二甲基甲酰胺相混，得到第一混合溶液，混合的質(zhì)量比為：環(huán)氧樹脂預(yù)聚物∶異氰酸酯∶N，N-二甲基甲酰胺＝1∶0.3-0.9∶3-9，將第一混合溶液旋涂在上述清洗的襯底上，并在60-180℃溫度下烘干6-12小時(shí)，得到厚度為1.0-5.0微米的下包層，其中所述的環(huán)氧樹脂預(yù)聚物的分子結(jié)構(gòu)式為：
(3)將偶氮聚合物、異氰酸酯和N，N-二甲基甲酰胺相混，得到第二混合溶液，混合的質(zhì)量比為：偶氮聚合物∶異氰酸酯∶N，N-二甲基甲酰胺＝1∶0.1-0.5∶8-16，將第二混合溶液旋涂在上述下包層上，并在60-140℃溫度下烘干8-12小時(shí)，得到厚度為0.4-1.5微米的芯層，其中所述的偶氮聚合物的分子結(jié)構(gòu)式為以下結(jié)構(gòu)式中的任意一種：
(a)
其中“R”結(jié)構(gòu)為下面三種基團(tuán)中的任何一種：
(b)?
其中重復(fù)單元數(shù)x為20-300；
其中n為2-14；
(4)將具有所需波導(dǎo)形狀的掩模放置在上述芯層上，用可見激光照射5-60分鐘，激光波長為457納米、488納米、514納米或532納米中的任何一種，激光強(qiáng)度為：50-200毫瓦/平方厘米，形成光波導(dǎo)；
(5)在上述光波導(dǎo)上用固化膠涂覆上包層，固化并烘干，上包層的厚度為3.0-7.0微米。?
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