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[發(fā)明專(zhuān)利]用于將透鏡與光學(xué)系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn)的方法和設(shè)備有效

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 200980160713.1 申請(qǐng)日: 2009-08-11
公開(kāi)(公告)號(hào): CN102483511A 公開(kāi)(公告)日: 2012-05-30
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 西里爾讓·M·沃爾斯基;讓·P·魯新志 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 乙太精密有限公司
主分類(lèi)號(hào): G02B13/00 分類(lèi)號(hào): G02B13/00
代理公司: 深圳市威世博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44280 代理人: 袁媛
地址: 英屬開(kāi)曼群島格蘭卡門(mén)喬治*** 國(guó)省代碼: 開(kāi)曼群島;KY
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 用于 透鏡 光學(xué)系統(tǒng) 對(duì)準(zhǔn) 方法 設(shè)備
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種用于將透鏡與光學(xué)系統(tǒng)預(yù)對(duì)準(zhǔn)的過(guò)程,該過(guò)程包括:

提供透鏡和具有光軸的光學(xué)系統(tǒng),其中所述透鏡易于與光學(xué)系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn),以在圖像平面上形成源物體的圖像,圖像具有頂部邊緣、底部邊緣、左部邊緣和右部邊緣;

粗略地關(guān)于所述光學(xué)系統(tǒng)定位所述透鏡;以及

在垂直于光學(xué)系統(tǒng)的光軸的平面中,校正所述透鏡的位置直到四個(gè)組合調(diào)制傳遞函數(shù)(C-MTF)的值在預(yù)定的范圍內(nèi),在四個(gè)粗略測(cè)量位置處計(jì)算C-MTF,該四個(gè)粗略測(cè)量位置位于沿穿越所述圖像的中心的兩個(gè)粗略定位軸、接近于所述圖像的邊緣,每個(gè)用于包括徑向圖案和切向圖案的組合的組合圖案。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中校正所述透鏡的位置直到四個(gè)C-MTF的值在預(yù)定的范圍內(nèi)包括重復(fù)以下的步驟:

計(jì)算所述C-MTF;以及

在垂直于所述光學(xué)系統(tǒng)的光軸的平面內(nèi),沿平行于圖像的粗略定位軸的線路將所述透鏡以預(yù)定的步長(zhǎng)向所述粗略測(cè)量位置移動(dòng),所述圖像的所述粗略定位軸包括具有最低值的C-MTF的粗略測(cè)量位置;

直到任意的C-MTF高于預(yù)定的C-MTF閾值并且最大C-MTF和最小C-MTF之間的差低于預(yù)定的C-MTF差閾值,或直到所述透鏡移動(dòng)預(yù)定的次數(shù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,進(jìn)一步包括:

提供在四個(gè)粗略測(cè)量位置中具有徑向圖案和切向圖案的組合的源物體。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,進(jìn)一步包括:

提供在其四個(gè)粗略測(cè)量位置中具有棋盤(pán)格圖案的源物體,該棋盤(pán)格圖案具有分別平行和垂直于所述物體的頂部到底部的軸的行和列。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4的任意一項(xiàng)所述的方法,其中所述圖像的包括所述粗略測(cè)量位置的兩個(gè)軸跟隨所述圖像的對(duì)角線,并且其中所述四個(gè)粗略測(cè)量位置位于所述圖像的四個(gè)邊角處。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中粗略地定位所述透鏡包括將所述源物體的中心與所述光學(xué)系統(tǒng)的所述光軸對(duì)準(zhǔn);以及關(guān)于所述光學(xué)系統(tǒng)定位所述透鏡,使得形成在所述圖像平面上的所述源物體的中心的圖像與所述光學(xué)系統(tǒng)的光軸和所述圖像平面的交叉點(diǎn)一致。

7.一種用于將透鏡與光學(xué)系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn)的過(guò)程,所述過(guò)程包括:

根據(jù)權(quán)利要求1-6的任意一項(xiàng)所述的方法將所述透鏡與所述光學(xué)系統(tǒng)預(yù)對(duì)準(zhǔn);

在垂直于所述光學(xué)系統(tǒng)的光軸的平面內(nèi)沿平行于第一精確定位軸的線路調(diào)節(jié)所述透鏡的位置,直到在第一和第二精確測(cè)量位置處計(jì)算的組合的透鏡和光學(xué)系統(tǒng)的第一和第二徑向和切向調(diào)制傳遞函數(shù)使得第一和第二精確測(cè)量位置的徑向調(diào)制傳遞函數(shù)之間的差以及第一和第二精確測(cè)量位置的切向調(diào)制傳遞函數(shù)之間的差最小,所述第一精確定位軸穿越所述圖像的中心并且通過(guò)位于接近于所述圖像的相對(duì)邊緣的第一精確測(cè)量位置和第二精確測(cè)量位置,每個(gè)所述調(diào)制傳遞函數(shù)高于第一預(yù)定閾值;以及

在垂直于所述光學(xué)系統(tǒng)的光軸的平面內(nèi)沿平行于第二精確定位軸的線路調(diào)節(jié)所述透鏡的位置,直到在第三和第四精確測(cè)量位置處計(jì)算的組合的透鏡和光學(xué)系統(tǒng)的第三和第四徑向和切向調(diào)制傳遞函數(shù)使得第三和第四精確測(cè)量位置的徑向調(diào)制傳遞函數(shù)之間的差以及第三和第四精確測(cè)量位置的切向調(diào)制傳遞函數(shù)之間的差最小,所述第二精確定位軸穿越所述圖像的中心并且通過(guò)位于接近于所述圖像的相對(duì)邊緣的第三精確測(cè)量位置和第四精確測(cè)量位置,每個(gè)所述調(diào)制傳遞函數(shù)高于第二預(yù)定閾值。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的過(guò)程,其中:

所述第一和第二精確測(cè)量位置位于所述圖像的頂部和底部的中間處,第一精確定位軸是所述圖像的垂直軸并且所述第一和第二徑向和切向調(diào)制傳遞函數(shù)是頂部和底部徑向和切向調(diào)制傳遞函數(shù);以及

所述第三和第四精確測(cè)量位置位于所述圖像的左部和右部的中間處,所述第二精確定位軸是所述圖像的水平軸并且所述第三和第四徑向和切向調(diào)制傳遞函數(shù)是左部和右部徑向和切向調(diào)制傳遞函數(shù)。

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