[發(fā)明專利]用于襯底處理系統(tǒng)的損壞襯底處置設備及方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980160366.2
• 申請日: 2009-10-07
• 公開（公告）號: CN102473671A
• 公開（公告）日: 2012-05-23
• 發(fā)明（設計）人: 安德里亞·巴奇尼;馬科·加里亞左
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/00
• 代理公司: 北京東方億思知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 柳春雷

1.一種襯底處理系統(tǒng)，其包括：

旋轉(zhuǎn)致動器組件，其具有設置在所述旋轉(zhuǎn)致動器組件上的至少一個襯底支撐件，所述旋轉(zhuǎn)致動器組件構造成使所述至少一個襯底支撐件在多個位置之間移動；

襯底處理室，所述襯底處理室定位成在所述至少一個襯底支撐件處于所述多個位置中的第一位置時在所述襯底上執(zhí)行處理；和

損壞襯底處置設備，所述損壞襯底處置設備包括容器，所述容器耦接到所述旋轉(zhuǎn)致動器組件，并且所述容器構造成從所述至少一個襯底支撐件接收潛在損壞的襯底。

2.根據(jù)權利要求1所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，所述容器對準所述多個位置中的第二位置，以在所述至少一個襯底支撐件處于所述多個位置中的所述第二位置時從所述至少一個襯底支撐件接收潛在損壞的襯底。

3.根據(jù)權利要求1所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，所述容器安裝在所述旋轉(zhuǎn)支撐組件的中心部分上，所述中心部分和所述容器可相對于所述旋轉(zhuǎn)致動器組件的基座旋轉(zhuǎn)，以使得所述容器可對準處于所述多個位置中的任何位置的所述至少一個襯底支撐件，以從所述至少一個襯底支撐件接收潛在損壞的襯底。

4.根據(jù)權利要求1所述的襯底處理系統(tǒng)，其中所述容器包括：

基座，其具有第一端和第二端、以及在所述第一端和所述第二端之間延伸的第一側(cè)和第二側(cè)，所述第二端具有開口，所述開口垂直對準在所述旋轉(zhuǎn)致動器組件的中心部分與所述旋轉(zhuǎn)致動器組件的周邊部分之間延伸的徑向方向。

5.根據(jù)權利要求4所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，所述容器安裝在所述中心部分上，以使得所述第一端處于低于所述第二端的高度。

6.根據(jù)權利要求1所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，所述至少一個襯底支撐件包括：

第一卷軸；

第二卷軸；

支撐材料，其在所述第一卷軸和所述第二卷軸之間延伸，并且適于支撐襯底；和

致動器，其構造成使所述第一卷軸和所述第二卷軸旋轉(zhuǎn)，以從所述至少一個襯底支撐件將潛在損壞的襯底傳送進入所述容器中。

7.根據(jù)權利要求6所述的襯底處理系統(tǒng)，其中，所述損壞襯底處置設備還包括至少一個空氣軸承，所述至少一個空氣軸承安裝在所述旋轉(zhuǎn)致動器組件上鄰近所述至少一個襯底支撐件、并且從所述至少一個襯底支撐件徑向向內(nèi)，所述至少一個空氣軸承構造成在所述潛在損壞的襯底從所述至少一個襯底支撐件被引導進入所述容器時、引導空氣以支撐所述潛在損壞的襯底的至少一部分。

8.根據(jù)權利要求7所述的襯底處理系統(tǒng)，其中：

所述至少一個襯底支撐件包括多個襯底支撐件；

所述至少一個空氣軸承包括多個空氣軸承；并且

所述多個空氣軸承各自安裝成與所述多個襯底支撐件中的每一個鄰近并徑向向內(nèi)。

9.根據(jù)權利要求1所述的襯底處理系統(tǒng)，其還包括：進料傳送器，所述進料傳送器構造成將襯底加載到位于所述多個位置中的第二位置的所述至少一個襯底支撐件上。

10.根據(jù)權利要求9所述的襯底處理系統(tǒng)，其還包括：出料傳送器，所述出料傳送器構造成從位于所述多個位置中的第三位置的所述至少一個襯底支撐件接收襯底。

11.根據(jù)權利要求1所述的襯底處理系統(tǒng)，其還包括：

光學檢查組件，所述光學檢查組件構造成捕捉襯底的光學圖像；和

系統(tǒng)控制器，其包括軟件，所述軟件構造成使用從所述光學檢查組件接收的所述光學圖像來識別潛在損壞的襯底、并且存儲包括所述潛在損壞的襯底設置在所述至少一個襯底支撐件中的哪個襯底支撐件上的信息。

12.根據(jù)權利要求11所述的襯底處理系統(tǒng)，其中：

所述至少一個襯底支撐件包括繞所述旋轉(zhuǎn)致動器組件的周邊布置的多個襯底支撐件；

所述容器安裝在所述旋轉(zhuǎn)致動器組件的中心部分上，使用驅(qū)動系統(tǒng)可使所述中心部分和所述容器相對于所述旋轉(zhuǎn)致動器組件的剩余部分旋轉(zhuǎn)；并且

所述軟件還構造成促使所述系統(tǒng)控制器發(fā)送控制信號給所述驅(qū)動系統(tǒng)，以使所述中心部分和所述容器旋轉(zhuǎn)，以使得所述容器對準上面設置有所述潛在損壞的襯底的所述襯底支撐件。