[發明專利]具有無限驅動介質的搬送系統及其中的物品的交接方法有效
| 申請號: | 200980159655.0 | 申請日: | 2009-06-02 |
| 公開(公告)號: | CN102460673A | 公開(公告)日: | 2012-05-16 |
| 發明(設計)人: | 木股友也 | 申請(專利權)人: | 村田機械株式會社 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;B65G47/90 |
| 代理公司: | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人: | 胡建新 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 具有 無限 驅動 介質 系統 及其 中的 物品 交接 方法 | ||
1.一種搬送系統具有:
無限驅動介質,進行環行移動;
多個搬運器,被安裝于所述無限驅動介質,保持物品并進行搬送;
多個站,沿著所述無限驅動介質而設置;以及
移動量傳感器,測定所述無限驅動介質的移動量;
所述站的每一個具有:
機械手,與所述搬運器之間交接物品;
驅動部,使所述機械手在所述無限驅動介質的環行方向和上下方向上移動;
第一搬運器傳感器,沿著所述無限驅動介質的環行方向,在機械手的上游側的規定位置檢測所述搬運器;以及
基于從利用所述第一搬運器傳感器檢測出所述搬運器的時間點起的、由所述移動量傳感器測定出的移動量,通過由所述驅動部起動機械手的信號處理部,在從機械手向搬運器裝載物品的情況下,在所述移動量達到了第一移動量時通過所述驅動部以第一加速度起動機械手,在從搬運器向機械手卸載物品的情況下,在所述移動量達到大于所述第一移動量的第二移動量時,通過所述驅動部以大于所述第一加速度的第二加速度起動機械手。
2.根據權利要求1記載的搬送系統,其中,
在所述各站上,
還設置有第二搬運器傳感器,該第二搬運器傳感器沿著所述無限驅動介質的環行方向,配置在所述第一搬運器傳感器的下游側且配置在所述第一搬運器傳感器的、大于所述第二移動量的距離處的下游側,
并且,所述信號處理部在所述第二搬運器傳感器檢測出所述搬運器時,將所述第一搬運器傳感器檢測出所述搬運器起的由所述移動量傳感器測定出的移動量與所述距離進行比較,在它們之間具有容許值以上的誤差的情況下,使由所述驅動部進行的機械手的移動停止。
3.根據權利要求2記載的搬送系統,其中,
從所述第二搬運器傳感器檢測出所述搬運器的時間點起,在由所述移動量傳感器測定出的移動量達到第三移動量的時間點,所述信號處理部使驅動部開始機械手的升降動作,該第三移動量在從機械手向搬運器裝載物品的情況下和在從搬運器向機械手卸載物品的情況下都通用。
4.一種搬送系統中的物品的交接方法,
在環行移動的無限驅動介質上,安裝有多個保持并搬送物品的搬運器,使所述搬運器環行移動,并且設置測定所述無限驅動介質的移動量的移動量傳感器,
在沿著所述無限驅動介質設置的多個站的每一個上,設置:
機械手,與所述搬運器之間交接物品;
驅動部,使所述機械手在所述無限驅動介質的環行方向和上下方向上移動;
第一搬運器傳感器,沿著所述無限驅動介質的環行方向,在機械手的上游側的規定位置檢測所述搬運器;以及
信號處理部,通過所述第一搬運器傳感器的信號,使機械手動作;
在從機械手向搬運器裝載物品的情況下,在從利用所述第一搬運器傳感器檢測出所述搬運器的時間點起的、由所述移動量傳感器測定出的移動量達到第一移動量時,通過所述驅動部以第一加速度起動機械手,在從搬運器向機械手卸載物品的情況下,在所述移動量達到大于所述第一移動量的第二移動量時,通過所述驅動部以大于所述第一加速度的第二加速度起動機械手。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





