[發明專利]有機薄膜蒸鍍裝置、有機EL元件制造裝置、及有機薄膜蒸鍍方法

有效

• 申請號: 200980140206.1
• 申請日: 2009-11-12
• 公開（公告）號: CN102177270A
• 公開（公告）日: 2011-09-07
• 發明（設計）人: 深尾萬里;菊地博;砂賀芳雄
• 申請（專利權）人: 株式會社愛發科
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;G09F9/00;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/10
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 毛利群;王忠忠

技術領域

本發明涉及有機EL顯示裝置的技術領域，特別涉及制造使用于有機EL元件的有機薄膜的有機薄膜蒸鍍裝置，和具有該有機薄膜蒸鍍裝置的有機顯示裝置制造裝置。

背景技術

對于制造有機EL元件的裝置，已知有集群（cluster）方式與沿線（in?line）方式。

圖11（a）是集群方式的制造裝置200。從搬入室201搬入的基板通過配置在搬送室209內的搬送機器人，被搬入至連接于搬送室209的蒸鍍室202~206內，在各蒸鍍室202~206依次形成有機薄膜，經由交接室207而移動至下一級的搬送室219。

在下一級的搬送室219也配置有基板搬送機器人，在配置于該搬送室219周圍的蒸鍍室211~214間依序移動，在各蒸鍍室211~214中對有機薄膜、陰極電極進行成膜，從搬出室215被搬出到制造裝置200的外部。

在各搬送室209、219連接有掩模貯存室221、222。在蒸鍍室202~206、211~214內相對于基板對掩模進行對準并加以成膜，在復數枚數的向基板的成膜中使用、使用次數變多的掩模與配置于掩模貯存室221、222內的掩模進行交換，從而能夠連續處理許多的基板。

圖11（b）是沿線方式的制造裝置300。

在前級的搬送室309與后級的搬送室329的內部配置有基板搬送機器人，被搬入到搬入室301的基板通過前級的搬送室309內的基板搬送機器人，被搬入至連接于搬送室309的預處理室302。

此外，在搬送室309連接有移動室311，在預處理室302內進行了預處理的基板經由移動室311，移動至未連接于搬送室309的對準室312。

在對準室312內配置有掩模，基板與掩模在被對準并將掩模裝配于基板之后，經由方向轉換室313被搬入至沿線蒸鍍室314內。

在沿線蒸鍍室314內中，基板與掩模一邊移動，一邊在基板表面對有機薄膜進行成膜，從沿線蒸鍍室314搬出的基板與掩模經由方向轉換室315而被搬入至分離室316，分離掩模與基板。

分離室316連接于后級的搬送室329，在分離室316內分離的基板經由后級的搬送室329，搬入至連接于搬送室329的濺射室321、322。

在濺射室321、322內在基板上對陰極電極膜進行成膜，經由搬出室323，取出至有機EL元件制造裝置300的外部。

被分離的掩模被回收至回收室332。新的掩模配置于供給室331，供給至對準室312。

專利文獻1：日本特開2008-56966號公報；

專利文獻2：日本特開2004-241319號公報。

發明內容

發明要解決的課題

在上述的二種有機EL元件制造裝置200，300中，在應對大型的基板的情況下、要使單件工時縮短的情況下，產生有以下的問題。

（1）?掩模通過基板搬送機器人進行交換，但伴隨著基板的大型化而掩模大型化，但目前不存在能搬送大型掩模的基板搬送機器人。即使已經開發了，也過于大型。

（2）?當要縮短單件工時時，必須增加成膜室的數量，裝置成本、底面積增大。此外需要與蒸鍍裝置相同數量的對準裝置、真空槽、和排氣系統，因此成本增加，裝置變得復雜化。

（3）?在沿線裝置的情況下，當真空槽的數量多時，變成大型裝置。特別是在制作RGB分涂器件的情況下，沿線的環路最低也變為3個以上，因此裝置更大型化。

解決課題的方案

為了解決上述課題，本發明的有機薄膜蒸鍍裝置，具有：真空槽；第一、第二基板配置裝置，配置在所述真空槽內，配置第一、第二基板；第一、第二掩模，分別位于所述第一、第二基板配置裝置上，形成有開口；第一旋轉軸，進行工作，使得所述第一基板配置裝置與所述第一掩模一起成為在上下方向重合的位置變成水平的水平姿勢，此外，使得所述第一基板配置裝置與所述第一掩模一起成為豎立設置的豎立姿勢；第二旋轉軸，進行工作，使得所述第二基板配置裝置與所述第二掩模一起成為在上下方向重合的位置變成水平的所述水平姿勢，此外，使得所述第二基板配置裝置與所述第二掩模一起成為豎立設置的所述豎立姿勢；以及第一、第二有機蒸氣放出裝置，設置在所述真空槽，從設置在第一、第二有機蒸氣放出面的放出口使有機材料蒸氣放出，通過所述第一、第二旋轉軸的工作，所述第一、第二基板分別被所述第一、第二基板配置裝置、和所述第一、第二掩模夾持并在所述水平姿勢與所述豎立姿勢之間變更姿勢，所述第一、第二有機蒸氣放出面分別與成為所述豎立姿勢的所述第一、第二掩模面對，從所述第一、第二有機蒸氣放出面的所述放出口放出的所述有機材料蒸氣，通過所述第一、第二掩模的開口而到達所述成膜面。