[發明專利]微機械結構以及用于調整微機械結構的工作間隙寬度的方法有效
| 申請號： | 200980129796.8 | 申請日： | 2009-06-15 |
| 公開（公告）號： | CN102387983A | 公開（公告）日： | 2012-03-21 |
| 發明（設計）人： | T·弗里德里希;D·C·邁澤爾;C·勞德茲斯 | 申請（專利權）人： | 羅伯特.博世有限公司 |
| 主分類號： | B81B3/00 | 分類號： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李永波;梁冰 |
| 地址： | 德國斯*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微機 結構 以及 用于 調整 工作 間隙 寬度 方法 | ||
1.微機械結構，尤其是傳感器或執行器，包括至少一個由至少兩個可相互相對調節的結構部段(6，7，8，9)限制的工作間隙(4，5)并且包括用于調整該工作間隙寬度的機構，其特征在于，該機構設計成通過對至少一個在微機械結構(1)運行期間相對于一個參照點固定的結構部段(6，7)相對于在運行中相對于這個參照點可運動的結構部段(8，9)進行調節而擴寬該工作間隙(4，5)。
2.按照權利要求1所述的微機械結構，其特征在于，該機構設計成這樣地擴寬該工作間隙(4，5)，即工作間隙(4，5)在至少兩個部位上具有不同的間隙寬度。
3.按照權利要求1或2之一所述的微機械結構，其特征在于，該機構設計成一維地或二維地擴寬該工作間隙(4，5)。
4.按照前述權利要求之一所述的微機械結構(1)，其特征在于，該機構通過產生靜電力擴寬該工作間隙(4，5)。
5.按照前述權利要求之一所述的微機械結構，其特征在于，該機構設計成借助于至少一個尤其是被涂層的彈簧擴寬該工作間隙(4，5)。
6.按照前述權利要求之一所述的微機械結構，其特征在于，該機構設計成通過使至少一個輔助間隙(14，15)變窄來擴寬該工作間隙(4，5)。
7.按照前述權利要求之一所述的微機械結構，其特征在于，限制該工作間隙(4，5)的結構部段(6，7，8，9)設計成梳形，并且在微機械結構(1)運行期間固定的結構部段(6，7)可以借助于所述機構被移動離開在運行期間可調節的結構部段。
8.按照前述權利要求之一所述的微機械結構，其特征在于，所述工作間隙(4，5)設計成環繞至少一個在運行中固定的結構部段(6，7)的間隙。
9.按照前述權利要求之一所述的微機械結構，其特征在于，所述工作間隙(4，5)可以通過平行調節多個在微機械結構(1)運行期間固定的結構部段(6，7)被擴寬。
10.用于調整微機械結構(1)的、尤其是傳感器或執行器的、由至少兩個可相互相對調節的結構部段(6，7，8，9)限制的工作間隙(4，5)的方法，其特征在于，通過對至少一個在微機械結構(1)運行期間相對于一個參照點固定的結構部段(6，7)相對于一個相對于該參照點可運動的結構部段(8，9)進行調節而擴寬該工作間隙(4，5)。
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