[發明專利]物品搬送設備有效
| 申請號: | 200980121719.8 | 申請日: | 2009-01-15 |
| 公開(公告)號: | CN102067299A | 公開(公告)日: | 2011-05-18 |
| 發明(設計)人: | 乾吉隆;吉田充 | 申請(專利權)人: | 株式會社大福 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;B65G49/07 |
| 代理公司: | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 代易寧;楊楷 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 物品 設備 | ||
技術領域
本發明涉及一種物品搬送設備,其設有沿著經過相對于物品支撐體的物品裝載移動位置的頂側的移動路徑自由移動的物品搬送體,所述物品支撐體相對于設置于頂側的固定框體自由移動地支撐在向接近所述移動路徑的一側突出的物品傳遞和接收用的突出位置和向遠離所述移動路徑的一側退后的退后位置,所述物品搬送體構成為在停止于所述物品裝載移動位置的狀態下相對于所述突出位置的所述物品支撐體進行物品的傳遞和接收。?
背景技術
如上所述的物品搬送設備,在臺面部側上沿著移動路徑設有在作為物品的裝載移動對象的物品裝載移動用的多個臺,物品搬送體,通過在懸掛物品的狀態下,使自由把持的把持部升降,進行臺之間的物品搬送。?
物品支撐體為臨時保管搬送到臺上的物品而設置。物品支撐體相對于設置于移動路徑的側旁等的固定框體通常位于退后的退后位置,以便不妨礙物品搬送體的移動等。在將物品保管于物品支撐體或者搬送保管于物品支撐體的物品的情況下,使物品支撐體的位置從退后位置改變為突出位置,由把持部將物品傳遞到物品支撐體,或者由把持部從物品支撐體接收物品。?
如上的物品搬送設備,例如設置于潔凈室內,通過使凈化空氣從頂側向下方側流通,在塵埃較少、清潔的環境中,由物品支撐體暫時保管物品。因此,如果固定框體等對頂側到下方側的凈化空氣的流動阻礙大,則會使清潔度下降。?
因此,傳統物品搬送設備中,物品支撐體具備相對于固定框體在遠近方向上被自由移動地支撐并在從固定框體向下方延伸后再向接近遠近方向的移動路徑的一側延伸的左右一對支撐臂體和在左右一對支撐臂體上連結于向接近遠近方向的移動路徑的一側延伸的部?分之間的連結體(參照例如專利文獻1)。左右一對支撐臂體在沿著移動路徑的方向上隔著比物品的寬度大的間隔設置,使得向接近遠近方向的移動路徑的一側延伸的部分在遠近方向上的物品全寬范圍內抵接物品的側面部。連結體在遠近方向上隔著間隔設有多個,多個連結體的各連結體分別構成為抵接物品的底部。?
在傳統物品搬送設備中,固定框體只需設置左右一對,以便在遠近方向上自由移動地支撐左右一對支撐臂體的各支撐臂體。因此,能夠減小沿著移動路徑的方向上的固定框體的寬度,能夠防止固定框體對從頂側到下方側的凈化空氣的流動的大的阻礙。?
專利文獻1:日本專利公開2007-91463號公報(第17-21頁,圖16~21)?
發明內容
在上述的傳統物品搬送設備中,在物品支撐體支撐物品的狀態下,在左右一對支撐臂體上向接近遠近方向的移動路徑的一側延伸的部分在遠近方向上的物品全寬范圍內抵接物品的側面部。由此,在沿著移動路徑的方向上,支撐臂體在物品的遠近方向上的全寬范圍內突出至物品的外側。因此,在沿著移動路徑的方向上,在物品的側部,在物品的遠近方向上的全寬范圍內阻礙向下方側的凈化空氣的流動。因此,存在清潔度降低的可能。?
此外,在沿著移動路徑的方向上設有多個物品支撐體的情況下,在物品支撐體之間必須設置用于容許從頂側到下方側的凈化空氣的流動的大的空間。因此,在沿著移動路徑的方向上,物品支撐體之間存在大的空間,沿著移動路徑的方向上的設置空間變大。?
本發明著眼于上述問題點構思而成,其目的在于提供一種物品搬送設備,其能夠在物品支撐體支撐物品的狀態下,防止阻礙從上方側到下方側的凈化空氣的流動,并在抑制清潔度的降低的同時保管物體。?
為了達成該目的,本發明的物品搬送設備的第1特征結構為,物品搬送設備設有沿著經過相對于物品支撐體的物品裝載移動位置的頂側的移動路徑自由移動的物品搬送體,所述物品支撐體相對于設置于頂側的固定框體自由移動地支撐在向接近所述移動路徑的一側?突出的物品接收用的突出位置和向遠離所述移動路徑的一側退后的退后位置,所述物品搬送體構成為在停止于所述物品裝載移動位置的狀態下,相對于所述突出位置的所述物品支撐體進行物品的傳遞和接收,其中,所述物品支撐體具備相對于所述固定框體在相對于所述移動路徑的遠近方向上被自由移動地支撐并形成為從所述固定框體向下方延伸的形狀的移動體和以從所述移動體的下端部沿著所述遠近方向延伸的方式設置的載置體,所述載置體由抵接載置部和移動限制部所構成,所述抵接載置部以在沿著所述移動路徑的方向上在物品的寬度范圍內且寬度較小,并從所述移動體的下端部沿著所述遠近方向延伸的方式設置,所述移動限制部具有以從所述抵接載置部沿著所述移動路徑延伸的方式設置并抵接于物品的側面部的立壁部分,且以在相對于所述移動路徑的遠近方向上比物品寬度小的方式形成。?
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





