[發明專利]等離子體產生裝置及等離子體處理裝置

有效

• 申請號: 200980117009.8
• 申請日: 2009-05-21
• 公開（公告）號: CN102027811A
• 公開（公告）日: 2011-04-20
• 發明（設計）人: 江部明憲;安東靖典;渡邊正則
• 申請（專利權）人: EMD株式會社;安東靖典
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46;C23C16/507;H01L21/3065
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 李貴亮

1.一種等離子體產生裝置，其特征在于，包括：

a)真空容器；

b)開口部，設置于上述真空容器的壁面；

c)板狀的高頻天線導體，以氣密地覆蓋上述開口部的方式安裝。

2.如權利要求1所述的等離子體產生裝置，其特征在于，

上述壁面由導體形成，上述高頻天線導體與上述壁面之間設有絕緣件。

3.如權利要求1或2所述的等離子體產生裝置，其特征在于，

在上述開口部上設有用來安裝上述高頻天線導體的凸緣。

4.如權利要求1～3中任一項所述的等離子體產生裝置，其特征在于，

上述等離子體產生裝置是具有多個上述開口部且在各開口部上安裝高頻天線導體的構造。

5.如權利要求1～4中任一項所述的等離子體產生裝置，其特征在于，

上述高頻天線導體為長方形，該高頻天線導體的長邊方向的一端通過匹配箱連接高頻電源，另一端接地。

6.如權利要求1～4中任一項所述的等離子體產生裝置，其特征在于，

上述高頻天線導體為長方形，該高頻天線導體的中央部通過匹配箱連接高頻電源，長邊方向的兩端接地。

7.如權利要求5所述的等離子體產生裝置，其特征在于，

上述等離子體產生裝置具有多個上述開口部，在各開口部上安裝上述高頻天線導體，該多個高頻天線導體以一定的間隔平行配置，各高頻天線導體的長邊方向的一端部用供電條電連接，另一端部用接地條電連接，以使各高頻天線導體中流過的高頻電流相同的方式供電及接地。

8.如權利要求7所述的等離子體產生裝置，其特征在于，

上述供電條的一端部連接高頻電源，隔著上述多個高頻天線導體與供電條對置的接地條的從連接上述高頻電源一側的高頻天線導體開始數最后一個高頻天線導體一側的端部接地。

9.如權利要求7所述的等離子體產生裝置，其特征在于，

上述供電條的中央部與高頻電源電連接，上述接地條的兩端部分別接地。

10.如權利要求6所述的等離子體產生裝置，其特征在于，

上述等離子體產生裝置具有多個上述開口部，在各開口部上安裝上述高頻天線導體，該多個高頻天線導體以一定的間隔平行配置，各高頻天線導體的中央部用供電條電連接，各高頻天線導體的長邊方向的兩端部用第一接地條及第二接地條電連接，以使各高頻天線導體中流過的高頻電流相同的方式供電及接地。

11.如權利要求10所述的等離子體產生裝置，其特征在于，

上述供電條的一端部與高頻電源連接，上述第一接地條及第二接地條的從連接上述高頻電源一側的高頻天線導體開始數最后一個高頻天線導體一側的端部接地。

12.如權利要求10所述的等離子體產生裝置，其特征在于，

上述供電條的中央部與高頻電源電連接，上述第一接地條及第二接地條的兩端部分別接地。

13.如權利要求7～12中任一項所述的等離子體產生裝置，其特征在于，

上述高頻天線導體的數目為3個以上，該平行排列的高頻天線導體中至少配置于兩端的高頻天線導體的上述真空容器的內部側表面，向配置在比兩端更靠內側的高頻天線導體的方向傾斜。

14.如權利要求7～13中任一項所述的等離子體產生裝置，其特征在于，

上述等離子體產生裝置具有多個由上述平行排列的多個高頻天線導體所構成的組。

15.如權利要求14所述的等離子體產生裝置，其特征在于，

上述等離子體產生裝置具有調整機構，該調整機構用于對與上述多組高頻天線導體的各組連接的高頻電源及匹配箱分別進行電力量的控制及匹配調整。

16.如權利要求5～15中任一項所述的等離子體產生裝置，其特征在于，

上述高頻天線導體的長邊方向的長度在上述高頻電源的頻率的真空波長的八分之一以下。

17.如權利要求1～16中任一項所述的等離子體產生裝置，其特征在于，

上述等離子體產生裝置具有切換機構，該切換機構通過在上述高頻天線接地的狀態和不接地的狀態之間切換，來使等離子體的模式進行感應耦合型與電容耦合型的切換。