[發明專利]太陽電池的熱處理裝置

有效

• 申請號: 200980113312.0
• 申請日: 2009-04-14
• 公開（公告）號: CN102007600A
• 公開（公告）日: 2011-04-06
• 發明（設計）人: 越前谷剛;平野祐一;長崎仁志;德永圭哉;米澤諭
• 申請（專利權）人: 本田技研工業株式會社
• 主分類號: H01L31/04
• 分類號: H01L31/04
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

1.一種黃銅礦型太陽電池的熱處理裝置，該黃銅礦型太陽電池的熱處理裝置用于進行在形成黃銅礦型太陽電池的光吸收層時進行的硒化處理或者硫化處理，其特征在于，

多張太陽電池基板以在板厚方向設有恒定的間隙的方式并列地配置在石英管的內部，

所述黃銅礦型太陽電池的熱處理裝置具備：

加熱機構，該加熱機構配置在所述石英管的外側部，用于對氣氛氣體進行加熱；以及

第一導風板，該第一導風板配置在所述基板的上部，用于將沿著所述石英管的內側面上升的被加熱后的氣氛氣體從上方引導至所述基板的中心部。

2.根據權利要求1所述的黃銅礦型太陽電池的熱處理裝置，其特征在于，

所述黃銅礦型太陽電池的熱處理裝置具備第二導風板，該第二導風板以離開所述基板和所述加熱機構的方式配置在所述基板的側面與所述加熱機構之間，促進所述被加熱后的氣氛氣體的沿著所述石英管的內側面的上升，并遮蔽所述加熱機構在所述基板的側面的直接輻射。

3.根據權利要求1所述的黃銅礦型太陽電池的熱處理裝置，其特征在于，

所述黃銅礦型太陽電池的熱處理裝置具備輔助加熱器，該輔助加熱器配置在所述石英管的內側面的下部，促進所述被加熱后的氣氛氣體的沿著所述石英管的內側面的上升。

4.根據權利要求1所述的黃銅礦型太陽電池的熱處理裝置，其特征在于，

所述黃銅礦型太陽電池的熱處理裝置具備預先對導入所述石英管內的氣氛氣體進行加熱的機構。