[發明專利]用于在濺射涂膜系統中固定和運輸對撞擊敏感的片的方法及裝置

有效

• 申請號: 200980110906.6
• 申請日: 2009-03-18
• 公開（公告）號: CN101980935A
• 公開（公告）日: 2011-02-23
• 發明（設計）人: 羅蘭·弗朗茨
• 申請（專利權）人: 格林策巴赫機械制造有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;C23C14/56;C23C16/458;H01L21/677
• 代理公司: 北京安信方達知識產權代理有限公司 11262
• 代理人: 張春媛;閻娬斌

1.一種用于在超凈室中給濺射系統供料的固定和運輸對撞擊敏感的玻璃片的裝置，包括下列特征：

a)輥子驅動器(12)，首先用于將適合于相應玻璃片(18)的垂直運輸框架(19)的滑走裝置(21)輸送到定心單元，以及其次用于向濺射系統的進一步輸送，所述運輸框架的頂側被引導在磁性軌座(2)中，所述定心單元使所述運輸框架(19)在水平方向上居中，

b)框架提升單元(7)，用于升高和降低所述磁性軌座(2)中的所述運輸框架(19)，

c)固定單元(5，8)，用于固定和釋放所述運輸框架(19)，其中打開頭(3)存在于所述運輸框架(19)的縱向側和頂側的區域中用于打開和關閉容納玻璃片(18)的框架夾子(17)，

d)所述待涂膜的相應玻璃片(18)的傳輸裝置，用于使所述玻璃片(18)升高和樞轉，所述玻璃片通過運輸裝置在水平位置提供，所述傳輸裝置使所述玻璃片進入垂直位置，然后將所述玻璃片置于所述運輸框架(19)中。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述運輸框架(19)由鋁合金構成，由鐵合金構成的引導件附接在所述運輸框架(19)的上部區域中。

3.如權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述固定單元(5，8)分別具有反向缸(5)和壓力缸(8)，它們具有用于抽吸排出空氣的裝置。

4.如權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述磁性軌座(2)包括由彼此相反地布置的兩個線性的磁性元件組成，在兩個磁性元件之間，所述運輸框架(19)的上邊緣以被兩個磁性元件分別排斥的方式布置。

5.如權利要求1至4中任一項所述的裝置，其特征在于，所述定心單元具有被引導在狹槽中的定心心軸(4)，所述定心心軸被移動缸(11)從心軸引導件(10)移出以使所述運輸框架(19)居中。

6.如前述權利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，所述框架夾子(17)由彈簧鋼構成，以及座由金屬或適合于凈室的塑料構成。

7.如前述權利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，所述待涂膜的玻璃片(18)被用于將玻璃片(18)從水平位置無污染傳輸至垂直位置中的裝置置于所述運輸框架(19)中，所述傳輸裝置包括下列特征：

a)在所述超凈室中具有相應的專用驅動器的輥子，

b)具有垂直地緊固于其上的吸頭支撐支桿的傳輸叉，所述支桿的頂側具有分布在其長度上并穿過所述輥子之間的自由空間的吸頭，

c)所述吸頭具有抽吸元件，

d)所述傳輸叉可樞轉到垂直位置。

8.一種用于在給濺射系統供料的超凈室中固定和運輸對撞擊敏感的玻璃片的方法，包括下列特征：

a)輥子驅動器(12)將適合于相應玻璃片(18)的垂直運輸框架(19)的滑走裝置(21)輸送到定心單元，所述運輸框架的頂側被引導在磁性軌座(2)中，所述定心單元使所述運輸框架(19)在水平方向上居中，

b)兩個框架提升單元(7)從下側升高所述磁性軌座(2)中的所述運輸框架(19)，

c)固定單元(5，8)將所述運輸框架(19)固定在其合適位置中，然后在所述運輸框架(19)的縱向側和頂側的區域中的打開頭(3)打開框架夾子(17)，

d)傳輸裝置升高所述待涂膜的玻璃片(18)，所述玻璃片通過運輸裝置在水平位置提供，所述傳輸裝置使所述玻璃片進入垂直位置，然后將所述玻璃片置于所述運輸框架(19)中，然后打開頭(3)關閉所述框架夾子(17)，

e)使所述運輸框架(19)與所述固定單元(5，8)分開，然后所述框架提升單元(7)降低所述運輸框架(19)，所述定心單元隨后釋放所述運輸框架(19)并且所述輥子驅動器(12)使所述運輸框架(19)與所述玻璃片(18)一起進入所述濺射區域中。