[發(fā)明專利]具有熱膨脹平衡層或加強(qiáng)層的微機(jī)電裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980105948.0
• 申請日: 2009-02-11
• 公開（公告）號: CN101952194A
• 公開（公告）日: 2011-01-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 紹里·古德拉瓦萊蒂;克拉倫斯·徐
• 申請（專利權(quán)）人: 高通MEMS科技公司
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;G02B26/00
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 宋獻(xiàn)濤

1.一種裝置，其包含：

電極；

固定至少部分反射體；

可移動柔性層；

可移動至少部分反射體，其耦合到所述可移動柔性層，其中干涉調(diào)制腔由所述可移動至少部分反射體及所述固定至少部分反射體界定，所述可移動至少部分反射體可在至少第一位置與第二位置之間移動；以及

熱膨脹平衡層，其在所述可移動柔性層的與所述可移動反射體相對的一側(cè)上，其中在所述可移動反射體的熱膨脹系數(shù)大于所述可移動柔性層的熱膨脹系數(shù)的情況下，所述熱膨脹平衡層具有大于或等于所述可移動柔性層的熱膨脹系數(shù)的熱膨脹系數(shù)，或在所述可移動反射體的所述熱膨脹系數(shù)小于所述可移動柔性層的熱膨脹系數(shù)的情況下，所述熱膨脹平衡層具有小于或等于所述可移動柔性層的熱膨脹系數(shù)的熱膨脹系數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中在所述可移動柔性層的僅與所述可移動反射體耦合到所述可移動柔性層的位置周圍相對的一側(cè)上，所述熱膨脹平衡層接觸所述可移動柔性層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述熱膨脹平衡層及所述可移動反射體具有大致相同的熱膨脹系數(shù)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中所述熱膨脹平衡層為與所述可移動反射體大致相同的厚度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其進(jìn)一步包含：

顯示器；

處理器，其經(jīng)配置以與所述顯示器通信，所述處理器經(jīng)配置以處理圖像數(shù)據(jù)；以及

存儲器裝置，其經(jīng)配置以與所述處理器通信。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其進(jìn)一步包含驅(qū)動器電路，所述驅(qū)動器電路經(jīng)配置以將至少一個信號發(fā)送到所述顯示器。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其進(jìn)一步包含控制器，所述控制器經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)的至少一部分發(fā)送到所述驅(qū)動器電路。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其進(jìn)一步包含圖像源模塊，所述圖像源模塊經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)發(fā)送到所述處理器。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中所述圖像源模塊包含接收器、收發(fā)器及發(fā)射器中的至少一者。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其進(jìn)一步包含輸入裝置，所述輸入裝置經(jīng)配置以接收輸入數(shù)據(jù)并將所述輸入數(shù)據(jù)傳送到所述處理器。

11.一種裝置，其包含：

電極；

固定至少部分反射體；

可移動柔性元件；

可移動至少部分反射體；以及

加強(qiáng)層，其中所述加強(qiáng)層耦合到所述可移動柔性元件，其中在所述可移動反射體與所述加強(qiáng)層彼此接觸的至少一個表面上存在至少一個中空空隙，且其中干涉調(diào)制腔由所述可移動反射體及所述固定反射體界定。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其中所述至少一個中空空隙在所述可移動反射體中。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其中所述可移動反射體不接觸所述可移動柔性元件。

14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其中所述加強(qiáng)層為所述可移動柔性元件的一組成部分。

15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其進(jìn)一步包含：

顯示器；

處理器，其經(jīng)配置以與所述顯示器通信，所述處理器經(jīng)配置以處理圖像數(shù)據(jù)；以及

存儲器裝置，其經(jīng)配置以與所述處理器通信。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的裝置，其進(jìn)一步包含驅(qū)動器電路，所述驅(qū)動器電路經(jīng)配置以將至少一個信號發(fā)送到所述顯示器。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的裝置，其進(jìn)一步包含控制器，所述控制器經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)的至少一部分發(fā)送到所述驅(qū)動器電路。

18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的裝置，其進(jìn)一步包含圖像源模塊，所述圖像源模塊經(jīng)配置以將所述圖像數(shù)據(jù)發(fā)送到所述處理器。

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的裝置，其中所述圖像源模塊包含接收器、收發(fā)器及發(fā)射器中的至少一者。

20.根據(jù)權(quán)利要求15所述的裝置，其進(jìn)一步包含輸入裝置，所述輸入裝置經(jīng)配置以接收輸入數(shù)據(jù)并將所述輸入數(shù)據(jù)傳送到所述處理器。