[實用新型]一種恒溫拉晶爐無效
| 申請號: | 200920296955.0 | 申請日: | 2009-12-15 |
| 公開(公告)號: | CN201620203U | 公開(公告)日: | 2010-11-03 |
| 發明(設計)人: | 陳建民;陳建衛;陳磊;陳燕青 | 申請(專利權)人: | 河南鴻昌電子有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00;C30B15/14 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 461000 河南省長*** | 國省代碼: | 河南;41 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 恒溫 拉晶爐 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種電爐,具體地說是涉及用于半導體碲化鉍結晶、拉晶過程中使用的恒溫爐子。
背景技術
在半導體致冷器的生產過程中,晶棒需要在恒溫的條件下制備,現有的爐子是這樣的:用電爐絲繞制在爐腔周圍,由于電阻絲閃爍,造成溫度不穩定,而影響使用。
發明內容
本實用新型的目的就是針對上述缺點,提供一種溫度穩定的拉晶爐。
本實用新型的技術方案是這樣實現的:拉晶爐,包括拉晶爐本體和電阻絲,電阻絲靠近爐腔內部的壁,其特征是:爐腔內還具有一層不銹鋼圈。
所述的不銹鋼圈外部還具有小孔。
本實用新型的有益效果是:具有爐腔內部溫度恒定,不會因為電阻絲的閃爍出現溫度變化的缺點;另一方面,由于具有一個不銹鋼圈,具有保護爐腔和電阻絲的的優點。
附圖說明
圖1是本實用新型環保型恒溫拉晶爐的橫切面結構示意圖
其中;1、晶爐本體??2、電阻絲掛具本體??3、不銹鋼圈
4、小孔
具體實施方式
下面結合附圖對本實用新型作進一步的描述。
如圖1所示,拉晶爐,包括拉晶爐本體1和電阻絲2,電阻絲2靠近爐腔內部的壁,其特征是:爐腔內還具有一層不銹鋼圈3。這個不銹鋼圈靠近爐腔的壁,電爐絲在不銹鋼圈的外部。
作為一種技術方案,所述的不銹鋼圈3外部還具有小孔4。
不銹鋼圈具有平衡電爐絲的閃爍的這作用,也就保持了溫度的恒定。
在爐腔內部具有碰撞、污染爐壁和爐腔的情況下,不銹鋼圈還具有保護作用。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于河南鴻昌電子有限公司,未經河南鴻昌電子有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/200920296955.0/2.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:喂絲裝置
- 下一篇:自對流散熱的電解水氫氧氣體發生器





