[實用新型]具復(fù)向噴洗機構(gòu)的基板濕制程設(shè)備

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920293194.3
• 申請日: 2009-12-15
• 公開（公告）號: CN201558827U
• 公開（公告）日: 2010-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周坤麟;藍文正;劉素珍;何瑞竹;郭先立;高自強
• 申請（專利權(quán)）人: 敘豐企業(yè)股份有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;H01L21/00
• 代理公司: 北京市浩天知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 11276
• 代理人: 劉云貴;李瑞峰

1.一種具復(fù)向噴洗機構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其包含一機臺，一結(jié)合在機臺上的噴洗機構(gòu)，一帶動噴洗機構(gòu)往復(fù)滾轉(zhuǎn)的滾轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置，及一帶動噴洗機構(gòu)往復(fù)移動的直線驅(qū)動裝置，其特征在于：

該噴洗機構(gòu)具有一組以上結(jié)合在機臺一側(cè)的第一軸承座，一組以上結(jié)合在機臺另一側(cè)與第一軸承座相對應(yīng)的第二軸承座，及一支以上結(jié)合在第一軸承座與第二軸承座之間的管路；該管路前、后端各別設(shè)有一能夠軸向移動及滾轉(zhuǎn)狀結(jié)合第一軸承座與第二軸承座的軸桿，該管路的管身并結(jié)合有一個以上的噴嘴；以及

該滾轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置具有一組以上結(jié)合在機臺一側(cè)的驅(qū)動馬達，一結(jié)合在驅(qū)動馬達的主驅(qū)動組件，及一結(jié)合在管路前端軸桿的從驅(qū)動組件。

2.如權(quán)利要求1所述具復(fù)向噴洗機構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其特征在于，該管路前端的軸桿延伸到機臺外側(cè)，該滾轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置的驅(qū)動馬達結(jié)合在機臺外側(cè)，該從驅(qū)動組件結(jié)合在機臺外側(cè)的軸桿端部。

3.如權(quán)利要求2所述具復(fù)向噴洗機構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其特征在于，該機臺外側(cè)設(shè)有一固定座，該固定座結(jié)合有一底座，該滾轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置的驅(qū)動馬達結(jié)合在底座上。

4.如權(quán)利要求1所述具復(fù)向噴洗機構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其特征在于，該管路的后端結(jié)合有一橫桿，該橫桿結(jié)合有一框架，該框架與直線驅(qū)動裝置結(jié)合，該直線驅(qū)動裝置帶動框架、橫桿及管路呈直線往復(fù)移動。

5.如權(quán)利要求1所述具復(fù)向噴洗機構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其特征在于，該噴洗機構(gòu)具有兩組結(jié)合在機臺一側(cè)的第一軸承座，兩組結(jié)合在機臺另一側(cè)與第一軸承座相對應(yīng)的第二軸承座，及兩支各別結(jié)合在第一軸承座與第二軸承座之間的管路。

6.如權(quán)利要求5所述具復(fù)向噴洗機構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其特征在于，該兩支管路的后端之間跨置結(jié)合有一橫桿，該橫桿中央結(jié)合有一框架，該框架與一直線驅(qū)動裝置結(jié)合，該直線驅(qū)動裝置帶動框架、橫桿及管路呈直線往復(fù)移動。

7.如權(quán)利要求5所述具復(fù)向噴洗機構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其特征在于，該兩支管路的前端之間跨置結(jié)合有一橫桿。

8.如權(quán)利要求1所述具復(fù)向噴洗機構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其特征在于，該主驅(qū)動組件與從驅(qū)動組件平行相互結(jié)合。

9.如權(quán)利要求1所述具復(fù)向噴洗機構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其特征在于，該主驅(qū)動組件與從驅(qū)動組件垂直相互結(jié)合。