[實用新型]一種聚合物旋涂裝置無效
| 申請號： | 200920265368.5 | 申請日： | 2009-12-22 |
| 公開（公告）號： | CN201565409U | 公開（公告）日： | 2010-09-01 |
| 發明（設計）人： | 文尚勝;王保爭;張劍平 | 申請（專利權）人： | 華南理工大學 |
| 主分類號： | B05C11/08 | 分類號： | B05C11/08;H01L51/40;H01L51/48;H01L51/56 |
| 代理公司： | 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102 | 代理人： | 何淑珍 |
| 地址： | 510640 廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 聚合物 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種聚合物旋涂裝置，包括抽氣泵(1)、通氣管(2)，其特征在于還包括進動變軸裝置(4)，所述進動變軸裝置(4)由基板(5)、主轉動軸(6)和變軸(7)組成；抽氣泵(1)通過通氣管(2)連接到基板(5)。
2.根據權利要求1的聚合物旋涂裝置，其特征在于所述基板(5)設有主轉動軸(6)和變軸(7)。
3.根據權利要求1的聚合物旋涂裝置，其特征在于所述主轉動軸(6)位于基板(5)中心。
4.根據權利要求1的聚合物旋涂裝置，其特征在于所述變軸(7)數量為一個以上。
5.根據權利要求1的聚合物旋涂裝置，其特征在于所述變軸(7)對稱分布于基板(5)的同一圓上。
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