[實用新型]硅麥克風裝置有效
| 申請號： | 200920260643.4 | 申請日： | 2009-11-23 |
| 公開（公告）號： | CN201585095U | 公開（公告）日： | 2010-09-15 |
| 發明（設計）人： | 孟珍奎 | 申請（專利權）人： | 瑞聲聲學科技(常州)有限公司;瑞聲聲學科技(深圳)有限公司 |
| 主分類號： | H04R1/04 | 分類號： | H04R1/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 213167 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 麥克風 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅麥克風裝置，其特征在于：其包括硅基片、設置在硅基片上的第一MEMS芯片、第二MEMS芯片及設置在硅基片上且與第一MEMS芯片和第二MEMS芯片分別電連接的數據信號處理單元。
2.根據權利要求1所述的硅麥克風裝置，其特征在于：所述第一MEMS芯片、第二MEMS芯片和數據信號處理單元集成在硅基片上。
3.根據權利要求1所述的硅麥克風裝置，其特征在于：所述第一MEMS芯片、第二MEMS芯片和數據信號處理單元底部分別設有焊盤，第一MEMS芯片、第二MEMS芯片和數據信號處理單元通過底部焊盤分別焊接在硅基片上。
4.根據權利要求1所述的硅麥克風裝置，其特征在于：所述第一MEMS芯片和第二MEMS芯片分別通過金線與數據信號處理單元連接。
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