[實用新型]硅基微型電滲泵三維陣列無效
| 申請號： | 200920243053.0 | 申請日： | 2009-11-03 |
| 公開（公告）號： | CN201802574U | 公開（公告）日： | 2011-04-20 |
| 發明（設計）人： | 楊濤;劉婷婷;梁晉濤;韓賓;高楊;譚先吉;馮月暉;白竹川;周玲;孟凡超 | 申請（專利權）人： | 西南科技大學 |
| 主分類號： | F04B19/00 | 分類號： | F04B19/00;B81B7/02;B81B1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 621010 四川*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微型 電滲泵 三維 陣列 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅基微型電滲泵三維陣列，其特征在于，材料采用硅基，結構由電滲泵微槽【5】構成的流體通道、入水口【6】及玻璃蓋板上的薄膜電極【4】構成。
2.如權利要求1所述的電滲泵三維陣列，其特征在于，所述的電滲泵微槽【5】具有高深寬比結構。
3.如權利要求1所述的電滲泵三維陣列，其特征在于，三維陣列可由二維陣列層疊形成。?
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于西南科技大學，未經西南科技大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200920243053.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：帶塑料閥片氣墊閥
- 下一篇：移動通信天饋系統執行機構
