[實用新型]一種化學氣相淀積外延設備用的進氣裝置

無效

• 申請號: 200920222264.6
• 申請日: 2009-09-02
• 公開（公告）號: CN201626981U
• 公開（公告）日: 2010-11-10
• 發明（設計）人: 朱建軍;王海;史永生
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 周國城

1.一種化學氣相淀積外延設備用的進氣裝置，其特征在于，該裝置包含：

一進氣法蘭盤(1)，該法蘭盤(1)與篩板法蘭(4)通過密封膠圈密封連接；

一勻氣篩板(2)，該勻氣篩板(2)嵌裝入該進氣法蘭盤(1)底面中央的圓形沉槽(13)中；

一中層篩板(3)，該中層篩板(3)與篩板法蘭(4)通過密封膠圈密封連接，中層篩板(3)上的管與篩板法蘭(4)所對應的管對接在一起；

一篩板法蘭(4)，該篩板法蘭(4)與反應腔密封連接。

2.根據權利要求1所述的化學氣相淀積外延設備用的進氣裝置，其特征在于，該裝置在所述進氣法蘭盤(1)的圓形沉槽(13)外側進一步包含有一與該圓形沉槽(13)同心的矩形密封槽(14)，且所述進氣法蘭盤(1)在其徑向有一進氣孔(12)。

3.根據權利要求1所述的化學氣相淀積外延設備用的進氣裝置，其特征在于，所述中層篩板(3)上焊有多條管徑和長度均相同的管道，該管道一端與中層篩板(3)所在平面對齊，另一端高出中層篩板(3)另一平面一段距離。

4.根據權利要求3所述的化學氣相淀積外延設備用的進氣裝置，其特征在于，所述中層篩板(3)上的管道是通過真空焊接方法焊接在中層篩板(3)上的。

5.根據權利要求3所述的化學氣相淀積外延設備用的進氣裝置，其特征在于，所述中層篩板(3)上的管道高出中層篩板(3)所在平面這一端有錐度，該錐度是通過電化學腐蝕方法加工制作而成的。

6.根據權利要求1所述的化學氣相淀積外延設備用的進氣裝置，其特征在于，所述的篩板法蘭(4)帶有冷卻水槽，焊有多條管道，該管道的外徑等于中層篩板(3)上管道的外徑，但內徑要大于中層篩板(3)上管道的內徑，且在相同面積上所焊管道密度是中層篩板(3)上所焊管道密度的兩倍。

7.根據權利要求1所述的化學氣相淀積外延設備用的進氣裝置，其特征在于，所述篩板法蘭(4)中央焊接細管道的上下篩板在焊接后經過加工處理，表面平整光滑，細管道端面不高于篩板的表面2毫米。

8.根據權利要求1所述的化學氣相淀積外延設備用的進氣裝置，其特征在于，所述篩板法蘭(4)上焊接的部分細管道與中層篩板(3)高出篩板平面、有錐度的細管道之間采用硬接觸密封相連，形成連通的進氣細管。

9.根據權利要求1所述的化學氣相淀積外延設備用的進氣裝置，其特征在于，所述進氣法蘭(1)、勻氣篩板(2)、中層篩板(3)與篩板法蘭(4)是各自獨立的部件，相互之間通過O型圈或硬接觸密封連接，易于拆卸和清洗。

10.根據權利要求1所述的化學氣相淀積外延設備用的進氣裝置，其特征在于，所述的中層篩板(3)之上進一步加入另一個與中層篩板(3)結構相同的篩板(5)，該篩板(5)上的細管道與中層篩板(3)的細管道之間采用硬接觸密封連接方式，形成相互連通的進氣管道。