[實用新型]一種透射電鏡用力電性能與顯微結構測量的傳感器

無效

• 申請號: 200920220390.8
• 申請日: 2009-10-30
• 公開（公告）號: CN201522458U
• 公開（公告）日: 2010-07-07
• 發明（設計）人: 韓曉東;劉攀;張澤
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04;G01L1/18;G01D5/16;B81B7/02;B81C1/00;B81C5/00;B81C3/00
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203
• 代理人: 劉萍

1.透射電鏡用力電性能與顯微結構測量的傳感器，其特征在于：一個中空的結構，該結構自下而上由阻擋層、硅襯底、外延層α和絕緣層組成；該結構中間部分的阻擋層和部分硅襯底被刻蝕，剩余的周邊部分包括阻擋層、硅襯底、外延層α和絕緣層四層，稱為基礎部分；

中間部分繼續被刻蝕穿形成壓敏電阻懸臂梁和懸空結構；傳感器的基礎部分上表面向下刻蝕出一個用于放置雙金屬片的凹槽，凹槽內放置雙金屬片后，雙金屬片的上表面與壓敏電阻懸臂梁和懸空結構的上表面處于同一水平面上；

所述的懸空結構，位于雙金屬片與壓敏電阻懸臂梁之間且互相不接觸；懸空結構的一條邊與雙金屬片的側邊平行，懸空結構另一條邊與壓敏電阻懸臂梁的邊緣平行，懸空結構通過兩側的支撐梁連接在基礎部分上；

所述的懸臂梁和基礎部分的上方有一個惠斯通電橋電路；

所述的惠斯通電橋電路，由四個完全相同的壓敏電阻組成，位于外延層α和絕緣層之間；其中兩個壓敏電阻位于基礎部分，作為固定電阻；另外兩個壓敏電阻位于懸臂梁上方，作為可變電阻。