[實用新型]濕法清洗設備

有效

• 申請號: 200920213424.0
• 申請日: 2009-12-15
• 公開（公告）號: CN201603713U
• 公開（公告）日: 2010-10-13
• 發明（設計）人: 朱建野;曾輝;杜亮;楊永剛
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 謝安昆;宋志強

1.一種濕法清洗設備，包括化學清洗槽、漂洗槽以及位于化學清洗槽和漂洗槽之間的排水槽，排水槽中央凹陷，排水槽非凹陷部分的邊沿分別接合化學清洗槽和漂洗槽；其特征在于，所述排水槽靠近漂洗槽一側的邊沿上，還包括突出排水槽非凹陷部分上表面的擋水條，所述擋水條的長度等于漂洗槽邊沿的長度，用于防止排水槽上表面的液滴落入漂洗槽中。

2.根據權利要求1所述的濕法清洗設備，其特征在于，所述擋水條的橫截面為由斜邊、水平直角邊和豎直直角邊構成的直角三角形，所述斜邊比豎直直角邊更靠近排水槽的中央。

3.根據權利要求1所述的濕法清洗設備，其特征在于，所述擋水條最高點相對于排水槽非凹陷部分的上表面的高度差為0.5厘米至0.8厘米。

4.根據權利要求1所述的濕法清洗設備，其特征在于，所述擋水條是通過粘接或螺釘固定的方式固定在排水槽靠近漂洗槽一側的邊沿上。

5.根據權利要求1所述的濕法清洗設備，其特征在于，所述擋水條與排水槽非凹陷的部分是用同一種材料整體成型的。