[實(shí)用新型]用于多晶槽式制絨設(shè)備的慢拉干燥系統(tǒng)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920208698.0
• 申請(qǐng)日: 2009-08-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201490216U
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-05-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周柏林;袁佩君;大石滿
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京中聯(lián)科偉達(dá)技術(shù)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 上海漢聲知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31236
• 代理人: 胡晶

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域中的制絨設(shè)備，具體地說(shuō)，涉及的是一種用于多晶槽式制絨設(shè)備的慢拉干燥系統(tǒng)。

背景技術(shù)

制絨是對(duì)硅片表面進(jìn)行各向同性腐蝕，形成微溝，降低硅片表面的反射率，促使太陽(yáng)在硅片表面進(jìn)行多級(jí)反射，提升光的利用率。在太陽(yáng)能晶硅電池的制備工藝中，制絨工藝是關(guān)系到太陽(yáng)能電池表面的光吸收的重要部分，也是提高太陽(yáng)能電池轉(zhuǎn)換效率的重要途徑之一。

在太陽(yáng)能電池迅速發(fā)展應(yīng)用的今天，對(duì)于目前占主要市場(chǎng)的晶體硅太陽(yáng)能電池，未經(jīng)表面處理的發(fā)射率一般超過(guò)30％，經(jīng)過(guò)堿液等各向異性化學(xué)腐蝕形成表面微米級(jí)隨機(jī)金字塔結(jié)構(gòu)絨面后單晶硅電池表面發(fā)射率可以降到10％，多晶硅電池由于表面晶粒的晶向差異，目前普遍采用的各向行化學(xué)腐蝕只能將發(fā)射率降低到20％。

現(xiàn)有技術(shù)中，太陽(yáng)能硅片行業(yè)干燥一般采用甩干、IPA(異丙醇)干燥，而甩干方式干燥易引起硅片碎裂；IPA干燥耗液大，系統(tǒng)安全防火設(shè)施要求高，易引發(fā)火警。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足，提供了一種用于多晶槽式制絨設(shè)備的慢拉干燥系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以大大提高效率，并降低能耗、碎片率及安全隱患。

為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型提供了一種用于多晶槽式制絨設(shè)備的慢拉干燥系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括在線加熱系統(tǒng)、慢拉主槽、慢拉動(dòng)力系統(tǒng)。

在線加熱系統(tǒng)設(shè)置于整個(gè)系統(tǒng)的內(nèi)部下方且位于慢拉主槽后面，在線加熱系統(tǒng)的進(jìn)口與客戶的DIW(快排沖洗槽)主管路直接相連；慢拉主槽直接固定在整個(gè)系統(tǒng)的內(nèi)部中部，慢拉主槽進(jìn)口與在線加熱系統(tǒng)的出口直接相連；慢拉動(dòng)力系統(tǒng)位于慢拉主槽的正后上方，慢拉動(dòng)力系統(tǒng)與慢拉主槽之間設(shè)有慢拉托架，該慢拉托架直接延伸到慢拉主槽內(nèi)部。

本實(shí)用新型中，在線加熱系統(tǒng)使用DIW通過(guò)式加熱方式，這樣及節(jié)約系統(tǒng)空間有提升了加熱轉(zhuǎn)換效率，達(dá)到節(jié)能效果；慢拉主槽采用四邊溢流方式，達(dá)到水流的穩(wěn)定性和水面的平穩(wěn)性，避免分子張力對(duì)硅片干燥的影響，從而達(dá)到最佳干燥效果；慢拉托架直接延伸到慢拉主槽內(nèi)部，托著提籃緩慢上下運(yùn)行達(dá)到慢拉效果。該系統(tǒng)可以大大提高效率，并降低能耗、碎片率及安全隱患。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1、在線加熱系統(tǒng)；2、液位傳感器；3、慢拉主槽；4、慢拉托架；5、慢拉動(dòng)力系統(tǒng)；6、伺服電機(jī)；7、加熱器；8、客戶的DIW主管路。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明，以下的描述僅用于理解本實(shí)用新型技術(shù)方案之用，不用于限定本實(shí)用新型的范圍。

本實(shí)用新型提供一種用于多晶槽式制絨設(shè)備的慢拉干燥系統(tǒng)，在本系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例中，如圖1所示，包括在線加熱系統(tǒng)1、慢拉主槽3、慢拉動(dòng)力系統(tǒng)5。該實(shí)施例中，各部件的安裝方式為：

在線加熱系統(tǒng)1設(shè)置于整個(gè)系統(tǒng)的內(nèi)部下方且位于慢拉主槽3后面，加熱管7在加熱系統(tǒng)1內(nèi)部，加熱系統(tǒng)1又分為四個(gè)串聯(lián)的箱體組成，從而使DIW流過(guò)時(shí)與加熱管7充分接觸達(dá)到最佳加熱效果，在線加熱系統(tǒng)1的進(jìn)口與客戶的DIW供水主管路8直接相連，避免管道的彎曲過(guò)多造成水壓降低，影響水流速度造成水量不足，影響慢拉效果；本系統(tǒng)采用通過(guò)式加熱方式，這樣及節(jié)約系統(tǒng)空間有提升了加熱轉(zhuǎn)換效率，達(dá)到節(jié)能效果；慢拉主槽3直接固定在整個(gè)系統(tǒng)的內(nèi)部中部，慢拉主槽3進(jìn)口與在線加熱系統(tǒng)1的出口直接相連，采用四邊溢流方式，達(dá)到水流的穩(wěn)定性和水面的平穩(wěn)性，避免分子張力對(duì)硅片干燥的影響，從而達(dá)到最佳干燥效果；慢拉動(dòng)力系統(tǒng)5位于慢拉主槽3的正后上方，慢拉動(dòng)力系統(tǒng)5與慢拉主槽3之間設(shè)有慢拉托架4，該慢拉托架4直接延伸到慢拉主槽3內(nèi)部，工作時(shí)用于托著提籃緩慢上下運(yùn)行以達(dá)到慢拉效果，利用伺服電機(jī)6的扭矩穩(wěn)定性、速比可調(diào)性能的強(qiáng)大性，實(shí)現(xiàn)慢拉的穩(wěn)定性及速度可調(diào)范圍廣等來(lái)滿足客戶不同片源對(duì)工藝調(diào)整的方便、快捷及節(jié)約成本等優(yōu)點(diǎn)。

進(jìn)一步的，所述的在線加熱系統(tǒng)1下方設(shè)有加熱器7。

進(jìn)一步的，所述的在線加熱系統(tǒng)1的進(jìn)口與客戶的DIW(快排沖洗槽)主管路直接相連。

進(jìn)一步的，所述的慢拉主槽3設(shè)有液位傳感器2。

進(jìn)一步的，所述的慢拉動(dòng)力系統(tǒng)5可以采用伺服電機(jī)6實(shí)現(xiàn)。

當(dāng)機(jī)械手把裝有花籃的硅片放到托架上，機(jī)械手離開(kāi)后慢拉托架4帶花籃快速下降到50℃-60℃純水液里浸泡，浸泡時(shí)間到達(dá)后慢拉托架4慢慢上升，當(dāng)升到高位時(shí)硅片脫水完成。

本實(shí)用新型采用瓷白PP材料保證慢拉主槽3內(nèi)的潔凈度，伺服電機(jī)6保證運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定和速度可調(diào)。

本實(shí)用新型采用伺服電機(jī)6慢拉升降，加上在線加熱系統(tǒng)1，當(dāng)機(jī)械手把硅片放到該裝置后，該慢拉裝置快速下降到熱純水中浸泡，浸泡完成后慢慢上升，上升時(shí)硅片已預(yù)熱和慢速運(yùn)轉(zhuǎn)作用下迅速脫水達(dá)到干燥目的。本實(shí)用新型可以大大提高效率，并降低能耗、碎片率及安全隱患。