[實(shí)用新型]MEMS麥克風(fēng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200920204779.3 | 申請(qǐng)日： | 2009-09-14 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN201509291U | 公開(kāi)（公告）日： | 2010-06-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王凱 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 常州美歐電子有限公司;深圳市美歐電子有限責(zé)任公司 |
| 主分類號(hào)： | H04R1/08 | 分類號(hào)： | H04R1/08 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 213167 *** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | mems 麥克風(fēng) | ||
1.一種MEMS麥克風(fēng)，其包括：由底板和覆蓋底板的上蓋構(gòu)成的保護(hù)結(jié)構(gòu)和置于該保護(hù)結(jié)構(gòu)內(nèi)的帶有背腔的換能器，該保護(hù)結(jié)構(gòu)形成收容腔，其特征在于：在該保護(hù)結(jié)構(gòu)上設(shè)有泄漏通道和接收外界聲源的進(jìn)聲孔，進(jìn)聲孔與泄漏通道貫通，泄漏通道設(shè)有泄漏孔，收容腔通過(guò)該泄漏孔與泄漏通道貫通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述的泄漏孔面積大小在3.14×10-8m2以內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述的換能器置于底板上，所述泄漏通道、進(jìn)聲孔和泄漏孔設(shè)在底板上，換能器的背腔在進(jìn)聲孔上方，該背腔覆蓋進(jìn)聲孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述的換能器置于底板上，進(jìn)聲孔和泄漏通道、泄漏孔分別設(shè)在上蓋。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述的換能器置于底板上，進(jìn)聲孔設(shè)在底板上，泄漏孔設(shè)在上蓋。
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