[實(shí)用新型]高頻短臂探針卡

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920189167.1
• 申請(qǐng)日: 2009-09-17
• 公開（公告）號(hào): CN201522509U
• 公開（公告）日: 2010-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 殷嵐勇;周明;王景峰;吳彥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 美博科技(蘇州)有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/073
• 分類號(hào): G01R1/073
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 孫仿衛(wèi)

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體晶元測(cè)試領(lǐng)域中的探針卡，特別是指一種高頻懸臂式的探針卡。

背景技術(shù)

探針卡是介于自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)與半導(dǎo)體晶片之間，用于在封裝前測(cè)試半導(dǎo)體晶片功能參數(shù)的精密界面卡。

普通的懸臂式探針卡，如圖1所示，其包括有絕緣固定環(huán)1、多支探針2、絕緣粘著劑3及測(cè)試接點(diǎn)4，多支探針2通過絕緣粘著劑3固定在絕緣固定環(huán)1下面，多支探針2之間由介電材料包覆以相互隔離絕緣，每根探針2的一端通過測(cè)試接點(diǎn)4電氣連接于外部的測(cè)試機(jī)臺(tái)，探針2的另一端則直接跟測(cè)試物電氣接觸。由于此種探針卡從測(cè)試物到測(cè)試接點(diǎn)的線路較長(zhǎng)，而且沒有很好的地屏蔽，通常都是僅應(yīng)用于低頻范圍測(cè)試，在進(jìn)行高頻電子元件測(cè)試時(shí)，傳輸信號(hào)的干擾和損耗都較大，且阻抗匹配特性較差，傳輸信號(hào)的完整性不佳。

目前業(yè)界也有采用同軸線做探針卡，用來測(cè)試高頻電子元件，以此來獲得較佳的傳輸信號(hào)和阻抗匹配特性。如圖2所示為同軸線的剖面圖，包括有內(nèi)部絕緣體5、外部絕緣體6、內(nèi)部導(dǎo)體7及外部導(dǎo)體8，但由于造價(jià)高且工藝復(fù)雜，無法廣泛使用。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述一般懸臂式探針卡中傳輸信號(hào)損耗大和阻抗匹配特性差的問題，本實(shí)用新型主要目的在于提供一種高頻短臂探針卡，其可確保高頻信號(hào)通過探針卡時(shí)的受外界干擾小、損耗小，保證了傳輸信號(hào)的完整性。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種高頻短臂探針卡，它包括：

電路板，所述的電路板上布設(shè)有電子電路，并于該電路板的上表面上設(shè)有多個(gè)與測(cè)試機(jī)臺(tái)相電氣連接的測(cè)試接點(diǎn)，而該電路板的下表面上設(shè)置有多個(gè)焊點(diǎn)；

探針固定座，所述的探針固定座設(shè)置于所述的電路板的下表面上并用于接地，所述的探針固定座具有良好的導(dǎo)電性；

多根信號(hào)探針，所述的信號(hào)探針的一端部與待測(cè)物電氣接觸，另一端部焊接在所述的電路板上的焊點(diǎn)上；

多根接地探針，所述的接地探針的一端部與待測(cè)物電氣接觸，所述的接地探針和信號(hào)探針均包括針尖、大致沿水平方向延伸的探針臂、用于連接所述的探針固定座的固定部以及探針尾部，多根所述的接地探針的固定部和探針尾部均通過導(dǎo)電黏著劑固定在所述的探針固定座上，多根所述的信號(hào)探針的固定部通過絕緣粘結(jié)劑固定于所述的接地探針的下方，多根所述的信號(hào)探針形成一信號(hào)探針層，多根所述的接地探針形成附于所述的探針固定座表面的接地屏蔽層，并且所述的接地屏蔽層與所述的探針固定座共同構(gòu)成遮擋在所述的信號(hào)探針層外圍的接地屏蔽罩。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：本實(shí)用新型通過將信號(hào)探針與接地探針分置兩層，使多根接地探針形成接地屏蔽層，能夠防止來自于外界的信號(hào)對(duì)于信號(hào)探針傳輸內(nèi)容的影響，因此保證了高頻傳輸信號(hào)的完整性；并且，由于本實(shí)用新型減小了信號(hào)探針的整體長(zhǎng)度，使其串聯(lián)電感值小，在高頻測(cè)試時(shí)所產(chǎn)生的感抗低，傳輸信號(hào)的介入損耗小，故保證了較佳的傳輸信號(hào)完整性。

附圖說明

附圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的懸臂式探針卡的剖視圖；

附圖2為現(xiàn)有技術(shù)中采用同軸線屏蔽的信號(hào)探針的截面圖；

附圖3為本實(shí)用新型的高頻短臂探針卡的剖視圖；

附圖4為附圖3中A處的局部放大圖；

其中：

1???絕緣固定環(huán)???2???探針

3???絕緣粘著劑???4???測(cè)試接點(diǎn)

5???內(nèi)部絕緣體???6???外部絕緣體

7???內(nèi)部導(dǎo)體?????8???外部導(dǎo)體

10??電路板

11??測(cè)試接點(diǎn)?????12??信號(hào)探針

13??接地探針?????14??絕緣粘著劑

15??導(dǎo)電粘著劑???16??絕緣套管

17??焊點(diǎn)?????????18??探針固定座

101?上表面???????102?下表面

121?第一端???????122?第二端

123?探針臂???????124?探針尾部

125?固定部???????131?第一端

132?第二端???????133?探針臂

134?探針尾部?????135?固定部。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖3和附圖4對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行介紹，本說明書中所述的上下位置關(guān)系與附圖3中的上下位置關(guān)系相對(duì)應(yīng)。

附圖3為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)剖視圖，其揭示了一種高頻短臂探針卡，其可以普遍適用于信號(hào)頻率小于3GHz的半導(dǎo)體晶片測(cè)試，特別是信號(hào)頻率在2GHz至3GHz范圍內(nèi)的半導(dǎo)體晶片測(cè)試中性能表現(xiàn)優(yōu)異。具體地說，其包括：