[實用新型]硅電容麥克風有效
| 申請號: | 200920135948.2 | 申請日: | 2009-03-27 |
| 公開(公告)號: | CN201403200Y | 公開(公告)日: | 2010-02-10 |
| 發明(設計)人: | 王凱;陳興福 | 申請(專利權)人: | 瑞聲聲學科技(常州)有限公司;瑞聲聲學科技(深圳)有限公司 |
| 主分類號: | H04R19/04 | 分類號: | H04R19/04 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 213167*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 電容 麥克風 | ||
1.一種硅電容麥克風,包括基板、基板上設有集成電路芯片和MEMS芯片,其特征在于:基板內部鏤空開設有聲學通道,聲學通道兩側的基板面上分別設有第一聲孔和第二聲孔,第一聲孔與第二聲孔相互錯開且不重疊,聲學通道分別與第一聲孔和第二聲孔相通,基板上還設有與基板組成收容空間屏蔽外界干擾的金屬屏蔽罩,聲學通道通過第一聲孔與金屬屏蔽罩和基板組成的收容空間相通。
2、根據權利要求1所述的硅電容麥克風,其特征在于:所述的基板包括疊加在一起的電源層、基地層及將電源層與基地層隔離的電容層,聲學通道開設在電容層的內部。
3、根據權利要求1所述的硅電容麥克風,其特征在于:所述聲學通道至少有一段走向與基板平行。
4、根據權利要求1所述的硅電容麥克風,其特征在于:所述的聲學通道與第一聲孔和第二聲孔構成的進聲通道呈字母“Z”形。
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