[實(shí)用新型]二元布?xì)夤?/span>無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200920135192.1 | 申請(qǐng)日： | 2009-03-11 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN201313933Y | 公開(kāi)（公告）日： | 2009-09-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 徐日宏 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 深圳市三鑫精美特玻璃有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C23C14/35 | 分類(lèi)號(hào)： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市科吉華烽知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 | 代理人： | 胡吉科 |
| 地址： | 518000廣東省深圳*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 二元 氣管 | ||
1.一種二元布?xì)夤埽ù趴貫R射陰極的進(jìn)氣管、控制進(jìn)氣管流量的閥門(mén)，其特征在于：所述磁控濺射陰極的進(jìn)氣管的末端部分和中間部分各自采用獨(dú)立的進(jìn)氣管分別供氣。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的二元布?xì)夤埽涮卣髟谟冢隹刂七M(jìn)氣管流量的閥門(mén)為壓電閥門(mén)。
3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的二元布?xì)夤埽涮卣髟谟冢龃趴貫R射陰極的進(jìn)氣管的中間部分的進(jìn)氣管分布為多層，各層分別進(jìn)氣。
4、根據(jù)權(quán)利要求3所述的二元布?xì)夤埽涮卣髟谟冢龃趴貫R射陰極的進(jìn)氣管的中間部分的多層氣管采取二元布局，即第一層分隔成21個(gè)獨(dú)立空間，由21個(gè)進(jìn)氣管分別供氣，第二層分隔成22個(gè)獨(dú)立空間，由22個(gè)進(jìn)氣管分別供氣，依次類(lèi)推，至符合氣體控制系統(tǒng)需要為止。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過(guò)覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
