[實用新型]具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機

有效

• 申請號: 200920074322.5
• 申請日: 2009-07-24
• 公開（公告）號: CN201483106U
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發明（設計）人: 盧建偉
• 申請（專利權）人: 上海日進機床有限公司
• 主分類號: B23H7/02
• 分類號: B23H7/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種線切割技術，特別是涉及一種采用單個貯絲滾筒的金剛線截斷機。

背景技術

線切割技術是目前世界上比較先進的硅片加工技術，它的原理是通過一根高速運動的鋼線帶動附著在鋼線上的切割刃料對半導體等硬脆材料進行摩擦，從而達到切割目的。線切割技術與傳統的刀鋸片、砂輪片及內圓切割相比有具有效率高，產能高，精度高等優點。

在對工件的切割過程中，鋼線通過十幾個導線輪的引導，在主線輥上形成一張線網，而待加工工件通過工作臺的上升下降實現工件的進給，并在壓力泵在的作用下，裝配在設備上的研磨劑自動噴灑裝置將研磨劑噴灑至鋼線和工件的切削部位，由鋼線帶動研磨劑往復運動，利用研磨砂對工件產生切削，以將半導體等硬脆材料一次同時切割為數百片，在上述的作業中，鋼線的作用舉足輕重，但即便最好的鋼線，其延伸度及耐磨度也是有限度的，也就是說鋼線在帶動研磨劑往復運動中會逐漸變細，直至最終被拉斷。

在現有技術中，常見的線切割設備(機床)都會設計鋼線張力補償機構，為彌補鋼線往返行走中的延伸度，鋼線的抽出及卷取均是獨立驅動的，即在鋼線左、右運動中把鋼線抽出、卷取的。因此一根鋼線要在其拉伸強度限度內克服鋼線所受到的所有阻力，才會對鋼線進行卷取。但是，如此一來就不得不在設備的走絲系統中配置兩個貯絲滾筒，即一個用于放線，另一個用于收線，相應地，每一個貯絲滾筒都需要單獨裝配一個驅動電機。由于線切割設備(機床)具有兩個獨立驅動貯絲滾筒，在運行及維護過程中，分立元件的調節非常不方便，操作步驟也相當繁瑣，增加了調節的技術難度，再者，每一個貯絲滾筒都需要單獨裝配一個驅動電機也大大增加了設備的成本。

另外，現有技術中運用的鋼線往往需要配合研磨劑才能進行切割作業，不但增加了用料成本，也會導致后續對設備及工件的清洗十分不便，而且研磨液的回收難度很大，對工件的污染也比較嚴重，實為不容忽視的一大問題。

所以，如何提供一種線切割設備，以避免以上所述的缺點，實為相關領域之業者目前亟待解決的問題。

發明內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機，以解決現有技術中在設備中配置多個貯絲滾筒及驅動電機而導致的設備成本昂貴的問題。

本實用新型的另一目的在于提供一種具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機，以降低用料的成本、解決工件清洗不方便、研磨液回收難度大，以及對工件污染嚴重的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機，其至少包括貯絲筒、用于驅動所述貯絲筒于正向或逆向旋轉的電機、均勻地纏繞在所述貯絲筒上的切割絲、用于對所述切割絲進行導向的第一導絲輪及第二導絲輪、以及切割輥，其特征在于：所述貯絲筒及電機的數量均為一個，且纏繞在所述貯絲筒上的切割絲為一層；所述第一導絲輪及第二導絲輪之間設置有張力補償裝置，所述張力補償裝置具有用以調整所述切割絲張力的調整輪，以及用于拉動所述調整輪于水平方向運動的氣動伸縮件。

本實用新型之具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機中，所述切割絲為表層具有金剛砂的金剛線，且纏繞在所述貯絲筒上的切割絲為單層，進而避免了多層切割絲易交錯而發生糾纏的問題。

本實用新型之具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機中，所述張力補償裝置還具有一滑塊，所述滑塊一端連接所述調整輪，另一端連接所述氣動伸縮件，具體地，所述滑塊滑動設置于一滑軌上，且所述滑塊與滑軌之間設有多個滾珠。所述氣動伸縮件具有一氣缸以及可根據所述氣缸內氣壓變化做伸縮運動的伸縮桿，所述氣缸具有一進氣口，用于向所述氣缸內輸送氣壓。

如上所述，本實用新型的具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機，采用了單一貯絲筒及電機，并配合有張力補償裝置，進而解決了現有技術中需要在設備的走絲系統中配置多個貯絲滾筒到達補償張力的目的，而導致的成本昂貴的問題；再者，本實用新型之具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機中，所述切割絲為表層具有金剛砂的金剛線，避免了浪費用料、解決了工件清洗不方便、研磨液回收難度大，以及對工件污染嚴重的問題，進而提高產品合格率也提高了設備的運行效率，即有效克服了現有技術中的種種缺點。

附圖說明

圖1顯示本實用新型的具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機的走絲示意圖。

圖2為本實用新型的具有單貯絲滾筒的金剛線截斷機的張力補償裝置結構示意圖。

元件標號的簡單說明：

11????貯絲筒

12????電機

13????切割絲

14????第一導絲輪

15????第二導絲輪