[實(shí)用新型]具有摩天輪狀樞轉(zhuǎn)搬移裝置的半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920059302.0
• 申請日: 2009-06-26
• 公開（公告）號: CN201446091U
• 公開（公告）日: 2010-05-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林漢聲
• 申請（專利權(quán)）人: 致茂電子(蘇州)有限公司
• 主分類號: B07C5/00
• 分類號: B07C5/00
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 萬志香;曾旻輝

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng)，具體地說，涉及一種具有摩天輪狀樞轉(zhuǎn)搬移裝置的半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng)。

背景技術(shù)

替代能源逐漸成為科技研發(fā)的重心，用以將太陽能轉(zhuǎn)換為電能的太陽能晶圓，無論是在轉(zhuǎn)換效率、市場接受度都不斷提升，而隨著需求的持續(xù)提高，檢驗(yàn)精度與速率要求也隨之提高，以往流程如圖1所示，通過銀幕62顯示檢測結(jié)果，采用人工方式分類，一方面太陽能晶圓21厚度極薄，僅十分之幾毫米(mm)，非常容易受損，當(dāng)晶圓被檢測分類人員由機(jī)臺6取下時，容易因不慎或作業(yè)繁忙造成輕微撞擊，進(jìn)而產(chǎn)生不易以肉眼察覺、卻大幅影響產(chǎn)品的電氣性能的微裂(micro-crack)；另一方面，有可能因?yàn)榉诸惾藛T一時的疏失而誤讀誤取，增加產(chǎn)品良率的誤差率，早已不合需求而被淘汰。

申請人所擁有的自動化檢測機(jī)臺60如圖2所示，可設(shè)置例如兩組檢測器67，并將檢測完畢的晶圓經(jīng)由一組選取裝置61及三組傳送裝置63加以區(qū)別分類，機(jī)臺60中并設(shè)置有一臺警示器65以及六個分別設(shè)置于選取裝置61兩側(cè)而排成兩列、供放置收納晶圓、作為承載裝置的收集盒41；當(dāng)傳送裝置63上的晶圓(圖未示)經(jīng)檢測器67檢測完畢，傳送裝置63會將晶圓帶離檢測器67，并通過選取裝置61將傳送裝置63上的晶圓依檢測結(jié)果分類至各個收集盒41中，當(dāng)某個收集盒41中的晶圓達(dá)到一個預(yù)定數(shù)量，警示器65即發(fā)出警訊且促使檢測機(jī)臺60停止運(yùn)作，通知現(xiàn)場人員立刻更換承載裝置并重新開機(jī)。

上述檢測機(jī)臺60雖已經(jīng)初步具備自動化分類系統(tǒng)，從而提升產(chǎn)出、節(jié)約人力成本、降低人為因素的風(fēng)險；然而，每當(dāng)一個收集盒41中的晶圓達(dá)到一個預(yù)定數(shù)量就會停機(jī)一次，勢必受限于停機(jī)時間而無法加速產(chǎn)出效率；且根據(jù)觀察，實(shí)際分類時，最常被檢選的類別大致符合80/20法則，亦即，依照電氣性能、色澤等因素，最常被檢選歸類的頭幾類占據(jù)極大的比例，一旦每種分類達(dá)一定片數(shù)就必須停機(jī)而更換收集盒41，關(guān)機(jī)的時間將導(dǎo)致檢測流程中無效時間增加。如此頻繁的開關(guān)亦迫使輸送過程被迫頻繁停止，降低輸送的穩(wěn)定性、甚至或?qū)е卤惠斔途A不必要的偏移或破片，降低產(chǎn)品良率，且延宕檢測與分類的速度。

因此，若能有一種自動化分類系統(tǒng)，能在使半導(dǎo)體晶圓于分類過程中維持順暢而不中斷，則產(chǎn)品的出貨速度、良率、及隨之而來的價格與競爭力必然大幅提升。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的，在于提供一種毋需頻繁停機(jī)、從而提升產(chǎn)品產(chǎn)出效率的半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng)。

本實(shí)用新型的另一目的，在于提供一種更換滿載收集盒時可一次取出復(fù)數(shù)盒，從而提升輸送效率的半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng)。

本實(shí)用新型的再一目的，在于提供一種與現(xiàn)有檢測機(jī)臺兼容性高的半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng).

本實(shí)用新型的又一目的，在于提供一種取出常見分類晶圓時，輸送裝置無須停止，從而減少晶圓輸送偏移，并減少不必要損傷的半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng)。

本實(shí)用新型是一種具有摩天輪狀樞轉(zhuǎn)搬移裝置的半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng)，是將被分類的半導(dǎo)體晶圓分別置放于復(fù)數(shù)個承載裝置，包含：一個形成有復(fù)數(shù)個承載位置以及復(fù)數(shù)個移出位置的基座；一組設(shè)置于該基座、供傳送汲取該半導(dǎo)體晶圓的傳送汲取裝置；復(fù)數(shù)組分別對應(yīng)該承載位置及移出位置的搬移裝置，分別包括：一個樞軸；復(fù)數(shù)個可相對該樞軸樞轉(zhuǎn)、分別供置放一組承載裝置的承載端口；一組受該樞軸驅(qū)動、并分別驅(qū)動該承載端口隨該樞軸沿其旋轉(zhuǎn)方向在該對應(yīng)承載位置及移出位置間轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)件。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：

本實(shí)用新型的半導(dǎo)體晶圓分類系統(tǒng)可直接將現(xiàn)有半導(dǎo)體晶圓檢測系統(tǒng)中的部分置換，并依據(jù)檢測結(jié)果自動分類至正確的承載裝置，且能維持機(jī)臺作業(yè)一貫順暢，在更換承載裝置時，機(jī)臺其它部分如輸送裝置等均無須停止，不僅提升檢測分類的效率與流暢，更降低受檢測晶圓偏移而受損或破片的機(jī)率，從而一舉解決現(xiàn)有技術(shù)的上述問題。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有分類系統(tǒng)中，以人工分類太陽能晶圓的俯視示意圖；

圖2為一種自動化分類系統(tǒng)的俯視示意圖；

圖3為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的立體側(cè)視示意圖；

圖4為圖3的搬移裝置立體示意圖；

圖5為本實(shí)用新型第一實(shí)施例中，內(nèi)置有一傾斜底面承載裝置的承載端口剖面示意圖；

圖6為處理裝置、傳送汲取裝置、以及搬移裝置的關(guān)系圖；

圖7為圖3的傳送汲取裝置立體示意圖；

圖8為圖4的側(cè)視示意圖；

圖9為第二實(shí)施例中，傳送汲取裝置的示意圖；

圖10為第二實(shí)施例的搬移裝置平面透視示意圖；