[實用新型]坩堝成型裝置

無效

• 申請號: 200920014432.2
• 申請日: 2009-06-05
• 公開（公告）號: CN201347405Y
• 公開（公告）日: 2009-11-18
• 發明（設計）人: 趙青山;侯建
• 申請（專利權）人: 錦州佑鑫電子材料有限公司
• 主分類號: C03B20/00
• 分類號: C03B20/00
• 代理公司: 錦州遼西專利事務所
• 代理人: 李 輝

技術領域

本實用新型屬于電弧坩堝制造機的傾動回轉臺上的設備，特別涉及一種坩堝成型裝置。

背景技術

電弧坩堝制造機是由電極升降機構、往復傾動機構和電控熱源裝置三大部分組成。在往復傾動機構中設有由水冷夾套和空心軸構成的坩堝成型裝置，水冷夾套和空心軸僅起通水冷卻的作用，功能比較單一，自從采用真空法生產電弧石英坩堝以后，真空排氣也要通過水冷夾套和空心軸。由于冷卻水和氣體都要從一個通道里通過，而空心軸的孔徑是∮50mm，有四根∮16mm的上下水管通過，因此暴露了以下技術缺陷：1、加工難度較大；2、在焊接時不慎容易泄漏水或氣，氣水混合后造成坩堝在熔融過程中鼓包和漏底，大大降低坩堝的成品率；3、由于四根水管占去了空心軸內孔的較大空間，因此排氣的空間相應就變小，導致坩堝內表面的真空層的真空效果達不到拉制單晶硅的技術要求。

發明內容

本實用新型的目的是要解決現有技術存在的上述問題，提供一種坩堝成型裝置，以便于加工，提高產品成品率，使坩堝內表面真空層的真空效果符合拉制單晶硅的技術要求。

本實用新型的技術方案是：它包括相互連接的水冷夾套和空心軸，在水冷夾套內設有串水夾層，在串水夾層內設有回水管，在空心軸下端設有旋轉接頭，其特殊之處是：在空心軸內孔設有一根進水管，空心軸內孔與進水管之間形成環形回水腔，所述的旋轉接頭分別與進水管和回水腔相通，在空心軸上均布有多個排氣通道，排氣通道進口位于水冷夾套內底面、排氣通道出口位于空心軸外表面，在空心軸上安裝有軸承座，在軸承座上設有與排氣通道相通的排氣孔。

上述的坩堝成型裝置，在軸承座和空心軸之間設有密封套。

上述的坩堝成型裝置，所述的串水夾層延伸至水冷夾套底部，在空心軸上部設有連通回水管與回水腔的環形水套，以使坩堝熔融時四周溫度一致，縮短坩堝的熔融時間，提高坩堝熔融的質量和真空層。

上述的坩堝成型裝置，所述的排氣通道為六個，每個排氣通道是由設在空心軸內上部的軸向孔和與軸向孔下端相通的徑向孔、設在軸向孔上端與水冷夾套內底面之間的排氣管構成，從而提高坩堝內表面的抽真空效果。

上述的坩堝成型裝置，所述的排氣孔為兩個且對稱布置。

本實用新型的優點是：

1、由于在空心軸上將進水管和排氣通道分開，增大了排氣空間，可提高坩堝內表面的抽真空效果，坩堝內表面的真空層更加透明，氣泡明顯減少，提高坩堝成品率10～60％。

2、由于坩堝內表面真空層的真空度提高，使坩堝內表面的密度增強、氣泡減少，延長了坩堝的使用壽命，使坩堝由原來可以連續使用40個小時延長到連續使用80個小時；避免了單晶硅在熔融時的斷苞和位錯的現象。

3、由于進水管和排氣通道分離開，延長了密封裝置的使用壽命，提高了設備完好率，方便維修，節約了維修成本。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是圖1中A部放大圖。

圖中：旋轉接頭1，進水口101，出水口102，帶輪2，軸座3，空心軸4，回水腔401，回水孔402，進水管5，排氣通道6，排氣管601，軸承座7，排氣孔701，環形水套8，法蘭9，回水管10，水冷夾套11，石墨模具12，串水夾層13，密封套14。

具體實施方式