[實用新型]超高真空直線導入器

有效

• 申請號: 200920011032.6
• 申請日: 2009-02-27
• 公開（公告）號: CN201404795Y
• 公開（公告）日: 2010-02-17
• 發明（設計）人: 郭方準
• 申請（專利權）人: 大連齊維科技發展有限公司
• 主分類號: B01J3/02
• 分類號: B01J3/02;B01J3/03
• 代理公司: 大連科技專利代理有限責任公司
• 代理人: 于忠晶

1、超高真空直線導入器，涉及導入棒，其特征是：外管一端裝有固定螺母，固定螺母與帶有外螺紋的推動桿螺紋連接，推動桿另一端通過軸承與可動法蘭連接，可動法蘭焊接波紋管，波紋管內側的可動法蘭焊接導入棒，導入棒另一端活動插接在真空設備連接法蘭中心孔內，波紋管另一端與真空設備連接法蘭焊接，且真空設備連接法蘭固定連接在外管的另一端。

2、根據權利要求1所述的超高真空直線導入器，其特征是：真空設備連接法蘭中心孔內裝有導入棒導向裝置，導向裝置為直線軸承或導向塊。

3、根據權利要求1或2所述的超高真空直線導入器，其特征是：真空設備連接法蘭由法蘭盤、軸套和外管連接套一體構成，軸套一端連接法蘭盤，另一端連接外管連接套，外管連接套端面帶有波紋管連接槽。

4、根據權利要求1或2所述的超高真空直線導入器，其特征是：可動法蘭帶有波紋管連接端帶有導入棒連接孔，與導入棒焊接固定，另一面為套體，套體內裝有軸承與推動桿連接。

5、根據權利要求1或2所述的超高真空直線導入器，其特征是：固定螺母端外管上套裝有旋套，旋套與推動桿固定連接，外管上帶有刻度。