[發(fā)明專利]基于在空氣和液體中工作的熱微驅動器的制備方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910310480.0
• 申請日: 2009-11-26
• 公開（公告）號: CN101723309A
• 公開（公告）日: 2010-06-09
• 發(fā)明（設計）人: 秦奎;陳少軍;李世鵬;孫健;張冠
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00
• 代理公司: 上海交達專利事務所 31201
• 代理人: 王錫麟;王桂忠

1.一種基于在空氣和液體中工作的熱微驅動器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

第一步：選擇二氧化硅的厚度為5000埃的硅-二氧化硅基片，在二氧化硅上旋涂光刻膠并進行曝光、顯影處理；

第二步：在顯影好的光刻膠上蒸鍍厚度為1.4μm的鋁層：將真空室抽真空，將蒸發(fā)舟進行升溫加電處理，最后把鋁絲連續(xù)輸送至蒸發(fā)舟上，制成鋁層；

第三步：在鋁層上真空沉積聚對二甲苯作為第一基層，然后采用磁控濺射法在第一基層上依次濺射鈦層和鉑層，然后通過剝離工藝對鈦層和鉑層進行金屬圖形化處理；

第四步：在鉑層上二次真空沉積聚對二甲苯層作為第二基層，然后利用氧等離子體干法刻蝕對第二基層進行圖形化，最后采用濕法刻蝕去除鋁層，制得基于在空氣和液體中工作的熱微驅動器。

2.根據權利要求1所述的基于在空氣和液體中工作的熱微驅動器的制備方法，其特征是，所述的升溫加電是指：將蒸發(fā)舟升溫至1300℃～1400℃，蒸發(fā)電流為45A。

3.根據權利要求1所述的基于在空氣和液體中工作的熱微驅動器的制備方法，其特征是，所述的鋁絲的純度為99.9％。

4.根據權利要求1所述的基于在空氣和液體中工作的熱微驅動器的制備方法，其特征是，所述的真空沉積是指：在15mTorr壓強、175℃的溫度環(huán)境下沉積聚對二甲苯5分鐘。

5.根據權利要求1所述的基于在空氣和液體中工作的熱微驅動器的制備方法，其特征是，所述的第一基層的厚度為0.3μm。

6.根據權利要求1所述的基于在空氣和液體中工作的熱微驅動器的制備方法，其特征是，所述的磁控濺射法是指：在工作氣壓為0.6Pa、濺射電流為1～1.5A的環(huán)境下濺射30～120秒的鈦或鉑。

7.根據權利要求1所述的基于在空氣和液體中工作的熱微驅動器的制備方法，其特征是，所述的鈦層的厚度為500埃。

8.根據權利要求1所述的基于在空氣和液體中工作的熱微驅動器的制備方法，其特征是，所述的鉑層的厚度為2000埃。

9.根據權利要求1所述的基于在空氣和液體中工作的熱微驅動器的制備方法，其特征是，所述的金屬圖形化處理是指：在襯底上旋涂光刻膠并對光刻膠進行圖形化，該圖形與待濺射的金屬圖形互補，然后在光刻膠上濺射金屬，經顯影去除未與襯底接觸位置的濺射金屬實現金屬圖形化。