[發明專利]提拉法晶體生長自動控制裝置

無效

• 申請號: 200910310313.6
• 申請日: 2009-11-24
• 公開（公告）號: CN101831692A
• 公開（公告）日: 2010-09-15
• 發明（設計）人: 肖兵;王國強;周世斌;石全洲
• 申請（專利權）人: 成都東駿激光股份有限公司
• 主分類號: C30B15/24
• 分類號: C30B15/24
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 彭立瓊

技術領域

本發明屬于晶體生長技術領域，特別是提拉法晶體生長自動控制裝置。

背景技術

原有提拉法晶體生長裝置中，晶體生長都是人工控制。由人眼觀察晶體直徑，然后根據操作人員的經驗來決定是采取升溫還是降溫來進行晶體生長。該技術有以下不足：

1、該種方法不適應大尺寸晶體的生長。晶體尺寸一旦超過觀察窗的尺寸，人眼已無法觀察，這樣就會造成生長失控

2、對人的個體經驗依賴較強，這樣生長出的晶體外形重復性不好，質量不穩定

3、這種方法必須依賴人的控制，對人的經驗和數量都有較高的要求，不利于生產規模的擴大。

發明內容

本發明的目的在于提供一套適用于提拉法晶體生長自動控制裝置，該裝置采取上稱重原理，通過控制器采集的籽晶的重量信息來控制晶體生長的溫控裝置，從而實現對生長過程的自動化控制。

為了實現本發明目的，提拉法晶體生長自動控制裝置包括支撐座、傳動裝置、穿過支撐座的籽晶桿、溫控儀，其特征在于：還包括稱重室、重量傳感器、軸承座、滑動接觸器、冷卻水套、籽晶桿定位盤；所述稱重室位于支撐座上部，稱重室底壁與支撐座之間固連有軸承座，稱重室外壁連接傳動裝置；所述滑動接觸器固連于稱重室上端，所述重量傳感器固連于稱重室的腔室上部，重量傳感器的信號線穿過滑動接觸器與控制器連接，所述控制器的輸出端與溫控儀連接；籽晶桿的一端穿過軸承座心部與重量傳感器軟連接，其另一端穿過固連在支撐座下部的冷卻水套和固連于冷卻水套底部的籽晶桿定位盤。

所述籽晶桿的一端穿過軸承座心部與重量傳感器通過連接件連接。

所述傳動裝置為與電機連接的皮帶輪。

采用本發明裝置，與爐膛內的籽晶連接的籽晶桿穿過支撐座與重量傳感器連接，由重量傳感器通過籽晶桿拾取晶體重量信號，然后經滑動接觸器傳出，最后進入控制器，由控制軟件進行運算處理后輸出控制信號到溫度控制儀進行升或降溫控制。該裝置應用于提拉法晶體生長，對穩定產品質量和大尺寸晶體的研發都有相當大的好處，如果批量使用該種裝置，會大大減少人工操作的誤差，較大幅度減少人工成本。

附圖說明

本發明將通過實施例并參照附圖的方式說明：

圖1是本發明實施例的結構示意圖。

具體實施方式

如圖1所示的提拉法晶體生長自動控制裝置，包括支撐座7、皮帶輪5、穿過支撐座的籽晶桿8、溫控儀(圖中未示出)、稱重室4、重量傳感器2、軸承座6、滑動接觸器1、冷卻水套9、籽晶桿定位盤10、連接件3；所述稱重室位于支撐座上部，稱重室底壁與支撐座之間固連有軸承座，稱重室外壁連接皮帶輪；滑動接觸器固連于稱重室上端，重量傳感器固連于稱重室的腔室上部，重量傳感器的信號線穿過滑動接觸器與控制器(圖中未示出)連接，所述控制器的輸出端與控制爐膛溫度的溫控儀連接；籽晶桿的一端穿過軸承座心部與重量傳感器通過連接件連接，其另一端穿過固連在支撐座下部的冷卻水套和固連于冷卻水套底部的籽晶桿定位盤。

本發明裝置的通過控制器采集的籽晶的重量信息來控制晶體生長的溫度控制，稱重室在皮帶輪的帶動下可使籽晶桿旋轉，也可隨著支撐座上下移動，保持了晶體的提拉和旋轉功能，從而實現對生長過程的自動化控制。

本發明并不局限于前述的具體實施方式。本發明擴展到任何在本說明書中披露的新特征或任何新的組合。