[發明專利]提拉法晶體生長自動控制裝置無效
| 申請號: | 200910310313.6 | 申請日: | 2009-11-24 |
| 公開(公告)號: | CN101831692A | 公開(公告)日: | 2010-09-15 |
| 發明(設計)人: | 肖兵;王國強;周世斌;石全洲 | 申請(專利權)人: | 成都東駿激光股份有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/24 | 分類號: | C30B15/24 |
| 代理公司: | 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214 | 代理人: | 彭立瓊 |
| 地址: | 611630 四川*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 提拉法 晶體生長 自動控制 裝置 | ||
1.一種提拉法晶體生長自動控制裝置,包括支撐座、傳動裝置、穿過支撐座的籽晶桿、溫控儀,其特征在于:還包括稱重室、重量傳感器、軸承座、滑動接觸器、冷卻水套、籽晶桿定位盤、控制器;所述稱重室位于支撐座上部,稱重室底壁與支撐座之間固連有軸承座,稱重室外壁連接傳動裝置;所述滑動接觸器固連于稱重室上端,所述重量傳感器固連于稱重室的腔室上部,重量傳感器的信號線穿過滑動接觸器與控制器連接,所述控制器的輸出端與溫控儀連接;籽晶桿的一端穿過軸承座心部與重量傳感器軟連接,其另一端穿過固連在支撐座下部的冷卻水套和固連于冷卻水套底部的籽晶桿定位盤。
2.如權利要求1所述的提拉法晶體生長自動控制裝置,其特征在于:所述籽晶桿的一端穿過軸承座心部與重量傳感器通過連接件連接。
3.如權利要求1所述的提拉法晶體生長自動控制裝置,其特征在于:所述傳動裝置為與電機連接的皮帶輪。
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