[發明專利]導電板的制作方法

無效

• 申請號: 200910304495.6
• 申請日: 2009-07-17
• 公開（公告）號: CN101958163A
• 公開（公告）日: 2011-01-26
• 發明（設計）人: 吳志笙;鄭嘉雄;施博盛;趙志涵;馮辰
• 申請（專利權）人: 群康科技（深圳）有限公司;群創光電股份有限公司
• 主分類號: H01B13/00
• 分類號: H01B13/00;H01B5/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種導電板的制作方法。

背景技術

納米碳管(CarbonNanotube，CNT)是一種由碳原子組成、直徑為納米等級的中空管狀物，隨著納米碳管的長度、直徑和螺旋方式的變化，納米碳管可呈現出金屬性質或半導體性質，由于納米碳管的優異特性，因此可望在許多不同技術領域中發揮重要作用。

由于CNT具有導電性，因此陸續有人嘗試以CNT制作成導電膜。以CNT所制作的導電膜而言，其制作條件相對制作銦錫氧化物(Indium?Tin?Oxide，ITO)等透明導電膜要來的容易，且制作成本相對其他透明導電膜來的低廉。因為透明導電膜其光學級穿透度上的需求，因此以CNT所制作成的透明導電膜需要把CNT本身的密度降低，以達成較高的穿透度。目前所使用的方式為：將生長于晶圓(或其它基板)上的CNT叢集，通過機械力量來將晶圓(或其它基板)上的CNT叢集懸空拉伸成一透明狀導電膜。

同時使用激光掃描上述的半透明狀導電膜，通過激光集中能量式的方法來燃燒一部分的CNT，以達到提升穿透率的效果。

最后再將激光處理過后的CNT透明導電膜以微速小心貼到已上膠的基板上，用以將CNT透明導電膜固定在基板上。

但是這種在晶圓(或其它基板)上將CNT拉伸成透明狀導電膜后，即先行以激光處理以提升穿透率的方式的缺點是：

1.因激光處理的過程是在懸空狀態下燃燒一部分的CNT，因此懸空部分的CNT面積如果過大，則會受重力影響使制造過程不穩定，進而機臺的生產速度與良率受到限制。因此使得懸空部分的CNT面積會受到限制。

2.激光處理后的CNT透明導電膜會因為CNT密度降低使得其機械強度也跟著下降，因此制造過程中的微小氣流都可能造成良率影響，例如：機械動作氣流擾動、熱循環氣流等。

3.由于懸空的CNT透明導電膜的機械強度脆弱，因此在激光處理時需注意到激光的能量功率及密度。由于CNT本身無法實時消散過高的激光功率所產生的熱能，因此會導致CNT在制造過程中被燒斷，因此限制了生產速度與制造過程參數范圍，例如：激光能量不能過高、激光掃瞄方向要垂直于CNT等。

發明內容

為了解決現有技術中導電板制造過程的生產速度與良率較低，且制造過程參數不易控制，同時導電膜不能不間斷的大面積導入的問題，有必要提供一種制造過程的生產速度與良率較高，且制造過程參數容易控制，同時導電膜可以不間斷的大面積導入的導電板的制作方法。

一種導電板的制作方法，其包括：提供具多個納米單元的一導電膜；將該導電膜置于一基材上；和后處理已置于該基材上的該導電膜。

相較于現有技術，本發明所揭露的該導電板的制作方法首先將導電膜置于基材上，再對已置于基材上的導電膜進行激光等后處理，于此可提升制造過程的生產速度與良率，且制造過程參數較易控制，同時導電膜可以不間斷的大面積導入。

附圖說明

圖1是本發明導電板的制作方法的第一具體實施方式的各步驟的流程圖。

圖2是本發明導電板制備系統的第一具體實施方式的示意圖。

圖3是本發明導電板的制作方法的第二具體實施方式的各步驟的流程圖。

圖4是本發明導電板制備系統的第二具體實施方式的示意圖。

具體實施方式

根據本發明的導電板的制作方法包括：首先提供具多個納米單元的一導電膜；接著將導電膜置于一基材上；以及后處理已置于基材上的導電膜。

請參閱圖1和圖2，圖1是本發明第一具體實施方式的導電板的制作方法中各步驟的流程圖，圖2是本發明第一具體實施方式的導電板制備系統示意圖。在本實施方式中，首先提供具多個納米單元的導電膜。其中提供具多個納米單元的導電膜的步驟可包括：

步驟S10：提供一底材；

步驟S11：形成多個納米單元于底材上；以及

步驟S12：拉伸處理該等納米單元以形成一導電膜。