[發明專利]多晶硅副產品四氯化硅的回收利用方法無效
| 申請號： | 200910300002.1 | 申請日： | 2009-01-04 |
| 公開（公告）號： | CN101481114A | 公開（公告）日： | 2009-07-15 |
| 發明（設計）人： | 李紹通 | 申請（專利權）人： | 李紹通 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 471012河南省洛*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多晶 副產品 氯化 回收 利用 方法 | ||
【權利要求書】：
【權利要求1】多晶硅副產品四氯化硅的回收利用方法，其特征在于：四氯化硅、氫氣、氯化氫的混合氣體按一定配比，通過一級或多級加氫專用雷尼鎳催化劑與硅粉混合料層的氫化反應器，在一定反應溫度、反應壓力和微波共同作用下，進行催化氫化反應合成三氯氫硅。其中氫化反應器上增加微波發生器，用微波加熱和促進反應；加氫專用雷尼鎳催化劑與硅粉的質量比為0.3～3，四氯化硅與氫氣的摩爾比為1：2～20，四氯化硅與氯化氫的摩爾比為0.2～5，單位停留時間內四氯化硅與硅粉的摩爾比為2～5。
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